NEWPORT, 통합형 XY Linear Stage ‘ONE-XY’ Series 출시

반세기동안 초정밀 모션분야에 지속적인 연구개발 투자와 함께, 반도체, 리서치, 산업체 및 항공우주 보안분야에서 축적된 경험을 바탕으로 매분기 새로운 제품들을 출시하고 있는 ‘Newport’가 최근 2-Axis X, Y가 하나로 구성된 Low-Platform 리니어 스테이지를 출시했다고 밝혔다.

Low Platform XY Linear Motorized Stage

뉴포트에 따르면, 기존의 XY 리니어 스테이지 제품들은 2개의 스테이지를 결합한 구성으로, 엔지니어가 시스템을 디자인하는데 있어 공간적인 제약과 유동성에 한계를 보여 왔다.  
뉴포트는 이러한 유저환경에서 제약된 공간에서의 성능을 극대화하기 위해 ONE-XY 시리즈를 출시하게 되었다고 전했다.
 

이 통합형 XY stage는 하나의 Platform 형태를 갖추었지만 XY 양축으로 300mm까지 이동이 가능하며, 100nm의 최소모션(Minimum Incremental Motion) 범위와, 최고 ±300nm의 위치정밀도, 그리고 ±2μm의 평탄도와 직진도 스펙을 제공한다. 뿐만 아니라, Ironless core linear motor를 사용한 드라이브 시스템은 초당 1meter를 움직일 수 있는 빠른 속도와 0.3G 가속력의 안정적 제어를 최적화할 수 있다.

스펙에 대한 완벽한 신뢰성 제공

두개의 스테이지를 결합하는 XY 구성에 있어서 직교성(Orthogonality)은 전반적인 위치제어의 오차를 최소화 하는데 중요한 고려대상이 된다. ONE-XY 시리즈의 HA(High Accuracy) 버전은 5urad 직교성을 보여주는 초정밀 구성을 자랑한다. Crossed Roller Bearing 디자인은 전 구간 우수한 Pitch, Yaw 및 최적화된 직진도, 평탄도에 기여하며, 이러한 스펙은 뉴포트사의 철저한 검수과정을 거치고, 측정된 자료를 유저에게 제공함으로써, 스펙에 대한 완전한 신뢰성을 보장한다.  
 

뉴포트는 어떤 회사?

뉴포트는 프랑스, 미국, 그리고 중국에 모션 관련 제품 연구개발 및 제조센터를 두고 있으며, 레이저 및 포토닉스 시장의 세계적인 선두기업이다. 특히 반도체 시장에 웨이퍼가공 및 검수장비를 위한 에어베어링 DynamYX 시스템을 전 세계에 1,000개 이상 공급하였으며, 지난 2012년에는 450mm 반도체 웨이퍼를 위한 에어베어링을 개발했다.

한편 지난해 경기도 안양시에 레이저가공기술 Application Lab 센터를 오픈한 뉴포트는 국내의 레이저, 광학 및 자동화시장에 지속적인 투자를 계획하고 있는 기업이다.

자료제공 | 뉴포트(www.newport.com) / 오엠에이(www.omacom.co.kr)