순환엔지니어링, 사용자 위한 맞춤 사업 전개

노하우와 실적·전문인력 대기 …

순환엔지니어링은 리니어 모터 스테이지를 국내 최초로 만든 기업이다. 1993년에 리니어 모터를 사용한 모션 시스템으로 사업을 시작한 순환엔지니어링은 리니어 스테이지를 통해 다양한 분야에서 위치 결정 및 이송 작업에 주로 사용된다. 순환엔지니어링이 생산하는 리니어 스테이지는 싱글·스택트·갠트리·공기 베어링·스플릿·배큠 스테이지 등이 있다.

순환엔지니어링은 1993년 리니어 모터를 사용한 모션 시스템을 개발하면서 사업을 시작했다.
이어 1998년에는 국내 최초로 리니어 모터 스테이지 국산화에 성공한 주역이다. 국내 리니어 스테이지 분야를 이끌어왔다고 해도 과언이 아니다.

순환엔지니어링이 생산하는 리니어 스테이지는 싱글/스택트/갠트리/공기 베어링/스플릿/배큠 스테이지 등이 있다. 이들은 ▲LCD ▲ OLED ▲반도체 ▲PCB 등을 검사·연마·조립하는 공정에서 위치 결정 및 이송 작업에 주로 사용된다.

모든 준비 완료

순환엔지니어링은 이미 다양한 분야에서 경쟁력을 갖추고 있다. 생산시설은 물론이고 리니어 모터 스테이지와 갠트리 로봇 분야에서 특히 앞선 생산기술 그리고 인력 등 전체적 분야에서 세계 시장과 경쟁할 준비를 마쳤다.

순환엔지니어링은 “이미 13세대 제품까지 내다본 생산시설을 보유하고 있다”며, “국내에서 가장 먼저 리니어 스테이지를 제작해서 공급한 선발업체로서의 노하우와 실적, 거기에 상시대기 중인 C/S 전문인력을 통해 사용자 만족에 초점을 맞춘 사업을 전개한다”고 말한다.

OLED ELA 장비용 단평면 에어베어링 스테이지
 

순환엔지니어링은 리니어 모터 스테이지를 비롯한 스테이지 시스템 분야를 폭넓게 다루고 있다. 순환엔지니어링은 국내 스테이지 제조업체 최초로 에어베어링 스테이지를 개발하였다.

순환엔지니어링의 단평면(Single Plane) 스테이지는 X-Y 두 축이 같은 평면상에 위치하여 슬라이드의 위치를 최대한 낮추었다. 이에 Abbe 오류를 최소화 할 수 있다는 특징이 있다. 또한 스캔 축에 에어베어링을 사용하여 속도편차와 반복정밀도 그리고 빠른 안정화 시간 등 성능이 뛰어나다. 이 제품은 나노미터 급 초정밀 스테이지에서 많이 사용한다.

최근 LCD/OLED 장비용으로 제작되는 대형 스테이지는 그 크기 때문에 운반이나 설치 등이 번거롭다. 이러한 어려움을 해소하기 위해 순환엔지니어링은 8세대 이상 크기의 LCD/OLED 장비용 대형 스테이지 제품을 분리조립 타입으로 개발하였다. 정밀 에어베어링 스테이지 제품도 분리조립 타입을 병행해 생산한다.

정밀 위치 제어용 스테이지
 

- 석정반 분리 구조
- 최대 50kg 부하 조건 사용
- 반복정밀도 ±1.5㎛ 이하
- 최대 2000mm/sec까지 속도 가능
- 우수한 정속성 및 정밀도

초고진공용 스테이지
 

반도체 제조공정에서 공기 중 오염물질(파티클)은 크기는 작지만 치명적인 요소이다. 크기가 작아 눈에 띄지 않는 탓에 반도체회로의 패턴 결함을 더욱 빈번히 유발한다. 때문에 오염물질은 반드시 제거되어야 한다. 순환엔지니어링은 “풍부한 초고진공용 스테이지 제작경험을 통해 초고진공용 스테이지에 적용되는 소재 및 세정 과정을 정확히 이해하고 있어 환경오염 및 디버깅에 의한 손실을 최소화하는 노하우를 갖고 있다”고 밝혔다.