보쉬렉스로스코리아, 반도체 공정 위한 최적의 모션 솔루션 제시

자동화 산업에서 스피드와 효율성은 갈수록 중요시 되고 있다. 이러한 추세에 대응하기 위해서는 단일 컨트롤로 멀티 테크놀로지를 창출하기 위한 서로 다른 드라이브 기술의 통합이 필요하다.

이를 실현하기 위해 보쉬렉스로스는 기술적 경계를 넘나드는 엔지니어링 툴을 표준화함으로써 시간과 비용을 절감시키는 동시에 다양한 새로운 솔루션과 서비스를 제공하고 있다.

보쉬렉스로스는 반도체 산업에 세계 최대 규모의 자동화 기술 포트폴리오를 제공하고 있다. 또한 다양한 애플리케이션 경험을 쌓은 엔지니어링 팀은 시스템 확장성 및 상호 기술 개발에 노하우를 제공하고 있다.

특히 보쉬렉스로스는 최적의 모션 솔루션을 선택할 수 있는 장점을 지닌 반도체 공정의 5가지 프로그램을 제공하고 있다.

반도체 산업에 최적화된 5가지 프로그램인 웨이퍼 핸들링, 리니어 모션 시스템, 웨이퍼 스테이지, 후공정, 갠트리를 소개한다. 이 프로그램은 고객이 시장에서 엔지니어링 시간을 줄일 수 있는 기회를 제공하며, 각 프로그램은 호환성이 좋은 제품을 가지고 모든 기술을 다룰 수 있도록 구축되어 있다.

보쉬렉스로스는 “최적화된 메카트로닉 솔루션은 수직적 통합에 대한 필요성을 줄 있다는 것을 의미한다”며, “특히 반도체 산업 고객의 요구사항들에 근거하여 전문가들로 구성된 팀이 완벽한 서브 시스템의 설계를 제공함으로써 고객은 파라미터의 설정과 프로그램 설치만 하면 된다”고 설명했다.

웨이퍼 핸들링
 

보쉬렉스로스 웨이퍼 핸들링 솔루션은 높은 다이나믹 서보 드라이브, 높은 강성 리니어 서브 시스템 및 공압 액추에이터 사이의 완벽한 균형을 통해 설계되었다. 즉 전공정 구동 전반에 걸쳐 표준화된 핸들링과 결합하여 비생산적인 유휴 시간을 줄이는 것을 의미힌다.

모션 제어 시스템에 대한 미리 정의된 알고리즘은 진동을 방지하고 고차원 모션 프로파일 및 스플라인 기능들을 더욱 부드러운 모션 시퀸스로 생성 및 가능하게 한다.

리니어 모션 시스템(LMS)
 

비접촉 모션 시스템은 진공 챔버 프로세스 안에서 웨이퍼를 이동시킨다. LMS 리니어 시스템은 심플하고 플렉서블한 디자인의 특징을 갖고 있다.

LMS 기술은 대부분의 부하조건, 정밀 수준 및 모션 프로파일에 적합하다. 각각의 캐리어가 서로 다른 속도로 자유로운 이동이 가능함으로 큰 유연성을 제공한다. 진공챔버 외부에 장착된 코일은 마그넷 캐리어의 구동 파워를 제공한다. 모든 구성품들은 챔버 외부에 장착되기 때문에 유지보수에도 용이하다.

웨이퍼 스테이지
 

웨이퍼 스테이지 프로그램은 검사 및 품질 관리에 사용되는 웨이퍼 얼라인먼트, 포지셔닝 및 테스팅에 대한 나노미터 범위의 고정밀 모션 제어를 지원한다.

NYCe4000 모션 제어 시스템은 1~5nm의 고정밀도와 50nm/s 이하의 초저속 구현이 가능하다. 특수한 모터 뿐만 아니라 일반적인 서보 모터, 리니어 모터, 토크 모터와 호환되며, 동적성능을 향상시킬 수 있다. 또한 고정밀 리니어 가이드는 진동을 제거하고 공압 서브 시스템을 통하여 보쉬렉스로스의 완벽한 자동화 시스템을 구축할 수 있도록 해준다.

후공정(BacK End)
 

보쉬렉스로스의 고속 및 고정밀 모듈형 솔루션은 구동 마지막 위치에서 오버슈트 현상이 없이 모션을 가능하게 한다. 또한 모든 센서 및 액추에이터를 통합할 수 있다.

렉스로스의 반도체 후 공정 프로그램은 다이싱(Dicing)과 다이 본딩에서 픽엔 플레이스까지 전체적인 프로세스 절차의 솔루션을 제공할 수 있다. 보쉬렉스로스 컨트롤러는 서보 모터, 2상 스템 모터, 보이스 코일 모터, 초음파 모터 등 현존하는 모든 모터를 구동할 수 있으며, 가용 가능한 전력범위는 수W에서 수십 KW이다.

갠트리(Gantry)
 

보쉬렉스로스의 갠트리 솔루션은 평면 패널 디스플레이와 태양 전기 모듈에 대하여 갠트리 동기 모션을 제공한다. 다양한 부하율과 사이즈에 대응 가능한 제품으로 구성되어 있다.

모션 컨트롤 시스템은 각각 자체 제어 루프를 가지고 있으며, 두 축에 대하여 고성능, 고정밀 좌표계를 제공한다. 리얼타임 통신 시스템인 SERCOS 기반의 실시간 동기화는 최고의 정밀도를 보장한다. 이 갠트리 솔루션을 통해 고객은 미세 공정의 애플리케이션에서 30~100nm 이내의 정밀도를 얻을 수 있다.

멀티 테크놀로지 솔루션의 완벽한 자동화 실현

안정적인 비접촉 웨이퍼 이송과 나노 단위의 초정밀 위치 정도를 가능케 하기 위해 설계된 메카트로닉 모듈을 포함하는 모든 반도체 공정내의 모션들은 매우 특수한 자동화의 집합체라고 할 수 있다.

글로벌 파트너쉽

최고 수준의 엔지니어링 지원을 제공하는 보쉬렉스로스의 능력은 특히 글로벌화된 프로젝트에서 명확하게 나타난다. 보쉬렉스로스는 고객이 필요로 하는 서비스를 제공하기 위해 글로벌 자원을 효율적으로 공유하고 활용한다. 이에 따라 유럽, 미국과 아시아의 반도체 전문가들로 구성된 팀의 지원을 받으며 함께 일할 수 있다.
 

시운전 후에도 보쉬렉스로스의 고객지원은 계속된다. 광범위한 서비스 네트워크를 통하여 고객과 근접한 위치에서 신속하게 대응하고 있는 것. 컨디션 모니터링과 같은 서비스 능력은 장비 제조사와 더불어 자동화 시스템에 대한 가용성을 더욱 향상시킬 수 있도록 도와준다.