2D 오류 보정 솔루션으로 웨이퍼 검사의 정밀 · 정확도 향상

글로벌 LED 산업 경쟁이 치열해지는 와중에 정부 지원을 받는 중국 본토의 공급업체가 증가하면서 가격 경쟁이 크게 심화되었다. 미니 LED나 마이크로LED와 같은 신흥 시장 및 기술은 LED 제조업체에서 초미의 관심사가 되었다. 특히 미니 LED는 고급 제품에 광범위하게 적용될 것으로 예측하는데, 시장을 주도하는 Apple은 업계의 분수령이 될 수 있는 차세대 iPad Pro에 미니 LED 디스플레이를 도입할 것으로 예상된다.

마이크로 LED와 미니 LED를 제조할 때는 일반적으로 정밀도와 정확도가 매우 중요하다. 기존의 LED와 비교할 때 마이크로 LED와 미니 LED에는 탁월한 정밀도와 정확도가 필요하다. 그러나 대부분의 기존 장비로는 이처럼 필요한 표준을 달성할 수 없다. 이러한 문제를 해결하기 위해 에이디링크는 최신 LED 제조에 필요한 정밀도와 정확도를 달성하기 위해 기존 장비를 조정할 수 있는 2D 오류 보정 솔루션을 도입했다.

정밀 · 정확도 향상

변속기 부품은 제조 공정에서 핵심적인 역할을 한다. 반도체 산업에서 사용되는 변속기 부품이 충분히 정확하지 않을 경우, 가이드 레일의 로봇 암이나 기타 장치가 약간만 움직여도 생산 중 불일치가 발생하면서 최종 조립 및 가공 위치에서 편차가 발생할 수 있다.

예를 들어, X-Y 슬라이딩 테이블을 실제로 사용할 때 매크로 이동 중에 자주 관찰되는 ‘스네이크’ 동작은 일반적으로 조립, 나사 정확도, 수정 방법상 오류들의 조합으로 인해 발생할 수 있는 정렬 불량이 원인이다. 그래서 X-Y 슬라이딩 테이블의 한 축만 자유롭게 움직일 수 있다. 한편 가이드 레일을 잘못 처리하거나 조립하면 각도 오류가 발생하면서 기계 조립 중에 간격 오류가 추가로 발생한다. 이를 수정하려면 각도 오차를 측정하여 이를 보정해야 한다.

고정밀 웨이퍼 검사 개선

고정밀 웨이퍼 검사는 높은 정확도를 요구하는데, 기존 하드웨어에서는 부품 간 공간이 협소하여 정확도가 충분하지 않다. 에이디링크의 2D 오류 보정 솔루션은 웨이퍼를 검사할 때 약간의 조정을 통해 필요한 정확도를 얻을 수 있다.

에이디링크의 2D 오차 보정 솔루션의 경우 측정 및 계산 결과에 맞춰 X 및 Y 위치 값을 보정할 수 있기 때문이다. 이 과정은 해당 좌표를 설정하여 X 및 Y 위치 값을 보정한 다음 이격 거리와보정 시작 위치를 포함한 컨트롤러 관련 설정 값을 제공함으로써 이루어진다.

2D 오류 보정 아키텍처

컨트롤러의 오류 보정 기능을 활성화하면 출력 위치 명령이 오차를 대조하면서 측정 오류를 수정한다.

에이디링크의 검증된 2D 오류 보정 솔루션은 다음 이점을 제공한다.

• 정밀도 및 정확도의 향상: 기존의 소규모 엣지 디바이스의 정밀도 및 정확도를 높여 제조 공정에 활용할 수 있다. • 전체 비용의 절감: 기존 하드웨어를 활용하면 일반적으로 오래된 장비를 새 모듈로 교체하는 데 소요되는 비용이 절감된다.

• 산출값의 증가: 정확도가 높아지면 당연히 산출값이 증가하고 그 결과 확장 및 성장이 빨라진다. 2D 오류 보정 솔루션에서는 다음 에이디링크 제품을 활용한다.

• MP-204C/208C - APS 기능 라이브러리: AMP-204C 및 208C는 포괄적인 응용 기능을 갖춘 고성능, 고정밀 중앙 집중식 모션 컨트롤러로서 반도체와 디스플레이는 물론 전통적인 제조 공정에서도 사용한다. 이 컨트롤러는 에이디링크의 APS 기능 라이브러리를 지원하기 때문에 구현 시간을 단축하여 런칭 시기를 앞당길 수 있다.

LED 산업의 가까운 미래에는 미니 LED와 마이크로 LED 제품이 계속해서 소형화될 것이다. 따라서 생산 공정의 정밀도와 정확도를 높이는 것이 제조업체가 가장 먼저 해결해야 하는 핵심 과제이다. 에이디링크의 2D 오류 보정 솔루션은 특히 제조업체가 장비 교체 비용을 줄이고 생산 수율을 높이며 기술적 문제를 극복하고경쟁력을 높임으로써 이 문제를 해결할 수 있도록 지원한다.

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