Festo, 피에조 기술이 적용된 VEFC 질량 유량 컨트롤러

Festo의 VEFC 질량 유량 컨트롤러는 피에조 기술 덕분에 컴팩트하고 유연하며 뛰어난 가성비를 제공한다. 특히 전자 제품 제조, 식품 생산 및 차폐 가스가 필요한 기계 공학 분야 어디에서나 사용하기에 적합하다.

Festo의 VEFC 질량 유량 컨트롤러는 시중에서 가장 컴팩트한 제품 중 하나이며 유량은 200l/min에 달한다. 디지털화 덕분에 유량이 일정하게 유지되며, 불활성 가스를 위한 동적 직접 제어식 피에조 밸브는 수동으로 조정할 필요가 없다. 유량과 설정이 밀리초 간격으로 정밀하게 제어되며, 변조를 방지할 수 있다. 따라서 사용자는 생산 공정에 필요한 유연성을 확보할 수 있다. 또한 유량과 배출구 압력이 항상 투명하게 표시되 므로 지속적인 공정 모니터링이 가능하다.

웨이퍼의 안정적인 보호: 반도체 산업에서는 웨이퍼의 손상을 방지하기 위해 질소와 같은 불활성 가스의 흐름을 안정적으로 제어하는 것이 특히 중요하다. 매체 분리 없이 불활성 가스에 초점을 맞춘 VEFC는 로딩 포트 또는 EFEM에서 질소를 제어할 때 시중의 다른 솔루션보다 유리한 대안으로 작용한다.

경제적이고 정밀한 N2 퍼징: 로드 포트에서 VEFC 를 사용하면 개별 퍼징 단계에서 다양한 유량을 제어할 수 있다. 이를 통해 사전 블로잉, 사전 헹굼, 공정 헹굼 및 사후 헹굼 중에 꼭 필요한 양의 질소만 사용하도록 보장한다. 따라서 사용자는 질소를 절약하고 건조한 차폐 가스 분위기에 도달할 때까지 공정 시간을 단축할 수 있다.

자료제공: Festo(www.festo.com)