Alio Industries, Z-wedge 수직 스테이지의 한계를 해결하기 위한 Z-Lift 수직 모션 시스템

ALIO Industries는 기존 Z-wedge 수직 스테이지의 한계를 해결하기 위해 Z-Lift 수직 모션 시스템을 개발했다. 설계 목표는 수직 방향으로 배치했을 때리니어 스테이지의 성능을 향상시키고 물리적 설치 공간을 최소화하는 것이었 다. Z-wedge 스테이지 설계에는 복잡한 각도를 가진 세 개의 가공 부품, 세 세트의 베어링, 커플링을 통해 연결된 모터, 인코더 등 여러 가지 복잡성이 내재돼 있다. 이에 반해 ALIO의 Z-Lift 스테이지는 뛰어난 정확도와 반복성을 제공 하도록 설계됐다.

NANO Z 에어 베어링 스테이지: ALIO의 특허받은 NANO Z 에어 베어링 스테 이지는 컴팩트한 디자인에 2개의 보이스 코일 모터와 결합된 에어 베어링을 사용하여 최대 50mm의 이동거리를 제공하는 획기적인 제품이다. 에어 베어 링을 사용하면 마찰이 거의 발생하지 않아 두 자릿수 나노미터의 낮은 정밀도에 도달하여 탁월한 정확도와 반복성을 제공한다. 이 설계는 가변 카운터 밸런 싱을 통합하여 웨이퍼 척과 같은 무거운 하중을 관리하면서 나노 수준의 정밀 도를 유지한다.

GeoSymmetric 수직 포지셔닝 스테이지: ALIO의 GeoSymmetric 수직 포지 셔닝 스테이지는 고정밀 크로스 롤러 베어링과 함께 보이스 코일 또는 리니어 다이렉트 드라이브를 사용하는 또 다른 혁신적인 접근 방식이다. 이 스테이지는 여러 면에 장착 표면을 제공하는 스테이지의 독특한 기하학적 모양 덕분에 유연한 설치가 가능한 독특한 디자인 내에서 다양한 카운터밸런스 옵션을 제공한다. 페이로드를 스테이지에 직접 장착하면 안정성이 향상되고 공진 문제가 줄어든다.

핵심 부품 중앙 정렬: 정밀도를 유지하면서 이동거리를 늘려야 하는 애플리케 이션을 위해 ALIO는 리니어 모터 구동 로우 프로파일 Z-리프트 스테이지를 제공한다. 이 스테이지들은 GeoSymmetric 시리즈와 유사한 설계 원리를 활용하며, 카운터밸런스 및 모터와 같은 핵심 부품이 중앙에 정렬되어 있다. 이 스테이지들은 페이로드를 스테이지 면에 직접 장착 해야 하는 애플리케이션에 이상적이며 25mm에서 170mm까지 이동이 가능한 구성으로 제공된다.

정밀 볼 스크류 장착: 산업 자동화, 대규모 계측 도구 또는 나노미터 정밀도의 상당한 리프트 기능이 필요한 모든 애플리케이션의 경우 정밀 볼 스크류가 장착된 ALIO의 수직 Z 스테이지가 최적의 선택이다. 이 스테 이지에는 프레임리스 토크 모터로 구동되며 공압식 릴리스 스프링 결합 브레이크를 갖추고 있어 추가적인 카운터 밸런싱 없이 최대 20kg까지 처리할 수 있다. 더 무거운 하중의 경우 ‘공압 부스트’ 옵션을 사용할 수 있어 적재 용량을 50kg까지 향상시킬 수 있다.

자료제공: Alio(www.alioindustries.com)