Festo, 피에조 기술이 적용된 웨이퍼 핸들링 솔루션

Festo(www.festo.com)는 독일 에슬링겐암네카(Esslingen am Neckar)에 본사를 둔 글로벌 기업이다. 35개가 넘는 산업 부문 에서 공장 및 공정 자동화 고객사 30만 곳에 공압 및 전기 자동화 기술을 제공한다.   176개 국가에서 훼스토 제품과 서비스를 제 공하고 있다. 전 세계 61개 국가에 250개 이상의 지사를 두고 2만 명 가량의 직원을 보유하고 있는 Festo는 지난 2020년 약 28억 4000만 유로의 매출을 달성했다. 매해 이 매출의 약 8%를 연구 개발에 투자한다.

Festo의 한국법인인 Festo Korea(www.festo.co.kr)는 최근 반 도체 장비 재료 전시회인 ‘세미콘 코리아 2023(SEMICON Korea 2023)’에 참가해 피에조 기술이 적용된 웨이퍼 핸들링 솔루션 등을 선보여 눈길을 끌었다.
 

Festo Korea 토마스 레킥 대표이사는 “Festo Korea 는 인더스트리4.0에 맞는 디지털화 기반의 자동화 토 탈 솔루션 파트너로서, 반 도체 산업에서도 차별화된 Festo의 가치를 보여줬다” 라고 밝혔다.

Festo의 경쟁력, 피에조 기술

Festo는 지난 2월 국제반도체장비재료협회(SEMI)가 주최하는 글로벌 반도체 산업 전시회인 ‘세미콘 코리아 2023’에 참가해서 올해 반도체 산업 시장에 특화된 고객 맞춤형 토탈 솔루션 제공뿐 만 아니라 자동화의 디지털라이제이션, 에너지 절감과 같은 고객 의 생산성 향상을 위해 고민하며 파트너로서의 경쟁력을 확인할 수 있는 자리를 마련했다.

특히 Festo의 경쟁력 중 하나이자 반도체 핵심 공정에 적용 가 능한 정밀한 공압(Piezo 기술) 데모를 선보여 눈길을 끌었다. 정 밀한 공압 모션 제어가 가능한 최첨단의 Piezo 기술을 통하여 웨 이퍼 핸들링을 위한 압력과 유량을 정밀하게 제어하고, 파티클 발 생까지 최소화할 수 있는 기술이 집약된 애플리케이션을 직접 확 인할 수 있도록 선보인 것이다.

또한 AI 및 Machine Learning을 이용한 시스템 데이터의 지 속적인 모니터링 및 분석을 통해 효율적인 장비 유지보수와 다운 타임을 줄이는 솔루션, 관절의 정밀한 압력 조절 장치로 유연하고 조화로운 움직임이 가능하고 사람과도 협업이 가능한 Cobot도 선보였다. 뿐만 아니라 UN의 17가지 지속 가능 발전 목표(SDGs) 를 준수하기 위한 Festo의 고민과 함께 자동화 생산 라인에서 구 현할 수 있는 에너지 절약 제품 및 솔루션, 그리고 서비스도 확인 할 수 있도록 했다.

자료 제공: Festo(www.festo.com)