커미조아-컨트롤러

EAS-TCU04



• 일반적인 온도 컨트롤러와 달리 경험이 없이도 최적의 온도 조정 가능
• 적응 제어 기술(Adaptive Control)을 통해 생산현장에서 번거로운 시운전 조정작업 최소화
• 외란 억제 기술 적용(EDS, External Disturbance Suppression)을 통해 외란으로 인해 발생할 것으로 예상되는 온도 변화를 자동으로 억제 가능
• ETG.5003 반도체 장치 프로파일 표준 적용

커미조아 www.comizoa.co.kr

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