나노미터 정밀도를 제공하는 피에조 스테이지용 포지셔닝 컨트롤러

PI

PI의 고동력 버전 E-727 다축 피에조 나노 포지셔닝 컨트롤러 제품군은 표준 버전의 10배에 가까운 270W의 피크 전력을 제공한다. 향상된 성능은 광통신 및 레이저 재료가공의 고속 조향 미러인 FSM(fast steering mirrors), 초 고해상도 현미경, 반도체 제조, 자동 포토닉스 정렬 또는 고속 추적 애플리케이션을 위한 스캐닝 단계와 같은 동적 나노미터 수준의 정밀 모션 및 포지셔닝에 유용하다. E-727 고속 디지털 서보는 밀리 초 범위에서 매우 빠른 안정화와 함께 나노미터 및 서브 나노미터 범위의 정밀도를 보장한다.

고급 디지털 서보

E-727 나노 포지셔닝 컨트롤러는 기존의 아날로그 피에조 나노 포지셔닝 컨트롤러에 비해 상당한 이점을 제공하는 고급 디지털 서보가 특징이다. 디지털 필터는 선형성과 높은 대역폭을 제공할 뿐만 아니라 동적 부하 또는 생산 요구사항에 대한 즉각 매개 변수 조정 기능을 제공한다.

소프트웨어로 조정 가능한 노치 필터를 통해 사용자는 기계적 공진을 억제하고 높은 처리량을 산출하며 step-and-settle 시간을 밀리 초로 줄여 압전 메커니즘을 활용할 수 있다. 디지털 피에조 나노 포지셔닝 컨트롤러의 다른 기능으로는 피에조 메커니즘과 전자장치를 위한 4차 다항식 선형화, 통합 데이터 레코더, 시스템 구성 요소의 빠른 교환을 위한 ID칩, 프로그래밍 가능한 드리프트 보상등이 있다.

동적 성능은 DDL(Dynamic Digital Linearization) 옵션으로 더욱 향상될 수 있다. DDL은 동적 주기적 애플리케이션의 경우 궤적 오류를 줄인다. 이는 고속 스캐닝 작업의 정확도를 나노미터 수준까지 몇 배나 향상시킬 수 있다.

인터페이스와 소프트웨어

E-727 나노 포지셔닝 컨트롤러는 USB, 이더넷 및 고해상도 20비트 아날로그 제어 인터페이스와 함께 제공된다. 모든 PI 모션 컨트롤러와 마찬가지로 Windows 및 Linux 용 LabVIEW 드라이버와 동적 라이브러리에서 지원한다. SPI 인터페이스는 고속 직렬 데이터 전송을 제공한다.

자료 제공: PI(www.pikorea.co.kr)