클린룸용 벨트 구동식 리니어 액추에이터

Rollon

벨트 구동식 변속기가 있는 리니어 액추에이터는 클린룸 시스템 장치로 특히 클린룸 어플리케이션용으로 설계됐다. 시스템은 리니어 장치가 있는 환경에 먼지 입자가 유입되는 것을 방지한다. 이 기능은 슬라이더가 이동하는 수평 입구를 닫는 특수 직선 씰을 사용하는 것은 물론 드라이브 헤드와 아이들 헤드 내에 있는 2개의 진공 파이프에 연결된 0.8 진공 펌프를 작동하여 달성된다. 시스템을 사용하면 장치 내에 진공을 생성할 수 있어 시스템이 작동 중일 때 방출되는 먼지 입자가 공기 여과 구역으로 흡입된다. 클린룸 시스템 리니어 액추에이터 구성품은 스테인리스스틸로 제작되며 낮은 먼지 입자방출을 보장하기 위해 특수 처리를 했다. 모든 베어링과 리니어 레일의 윤활유는 클린룸 또는 진공 환경에 사용하도록 설계된 특수 윤활유이다.

시스템을 오염이 심한 환경에서 사용하는 경우 클린룸 시스템 리니어 장치는 0.8 bar까지 가압되어 외부 먼지 입자가 부드러운 작동에 부정적인 영향을 미치지 않도록 한다.

클린룸 시스템 리니어 장치를 위한 주 응용 분야

- 반도체
- 의료

주요 특징

- 높은 역동성: V=7m/s, A=20m/s2
- 진공 시스템 덕분에 낮은 먼지 입자 배출
- 높은 반복성 정확도: ±0,05mm
- 클래스1 클린룸 인증
- 다양한 내부식성 표면 처리

기술 특성

- 리니어 액추에이터에 사용 가능한 크기: ONE 50, ONE 80, ONE 110
- 낮은 먼지 입자 배출 재료로 제작
- 클린룸을 위한 특수 윤활유 사용
- 최대 속도: 5m/s
- 최대 가속: 50m/s2
- 반복 정확도: 0.05mm
- 최대 정적 하중: Fx 4,410 N, Fy 79,000 N, Fz 79,000 N
- 최대 정적 모멘트: Mx 1.300 Nm, My 7.110 Nm, Mz 7.110 Nm

자료 제공: Rollon(www.rollon.com)