클린룸 애플리케이션을 위한 정밀 리니어 시스템 선정 방법

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클린룸은 먼지, 공중에 분포되어 있는 미생물, 에어로졸 입자, 화학 증기와 같은 환경오염 물질을 최소화하여 유지해야 한다. 생명과학 테스트장비, 반도체 장비, 검사 장비, 전자제품 제조 등은 환경의 청결이 필수적이다. 클린룸의 모든 장비도 오염물질이 없어야 하며, 리니어 테크놀러지를 비롯한 제품은 제조 시점부터 클린룸의 조건을 맞추기 위해 엄격한 절차를 따라야 한다.

스테이지의 에어 플로어의 유무

클린룸에서 안전 및 환경 표준을 유지하는 것은 매우 중요하며, 이를 위해서는 흄 후드(Fume Hood)가 갖추어져 있어야 한다. 에어 플로어는 정밀한 리니어 기술 및 부품 검사 또는 광학 어셈블리와 같은 깨끗한 작업 환경이 필요한 애플리케이션에 적합하다.

작동 프로파일(가속, 속도 등)

리니어 기술을 필요로 하는 애플리케이션의 경우, 리니어 포지셔너의 올바른 작동을 위해 프로파일이 필요하다. 작동 프로파일이 부정확하면 포지셔너의 모터가 과열되거나 내부 구성 요소가 손상될 수 있다. 이 두 가지 문제는 새로운 입자 오염물질을 대기에 유입하기 때문에 클린룸 환경에 부정적인 영향을 미칠 것이다.

리니어 장비의 방향

고객이 필요로 하는 리니어의 구동 방향은 무엇인가(수평 방향, 수직 방향, 업사이드 다운 방향)? 클린룸에서 리니어의 장착 방향은 입자의 대기 중 방출에 영향을 미친다. 가장 좋은 장착 솔루션은 구성 요소를 작업 영역 아래로 유지하는 것이다. 또한, 우측 장착 방향은 수직 또는 상향 방향보다 시스템 내부에 입자를 더 잘 가두어 둔다.

리니어 스테이지의 위치 선정

클린룸 환경을 설계할 때는 리니어 포지셔너와 최대 이동 경로에 부착된 샘플의 위치를 고려해야 한다. 전체 시스템은 클린룸 상태가 유지되도록 흄 후드 아래에 있어야 한다. 포지셔너 중 극히 일부만 외부 환경에 노출되더라도 오염은 여전히 전체 클린룸으로 확산될 수 있으며, 이것은 리니어 장비 성능에 영향을 미칠 것이다.

위에서 언급한 바와 같이, 리니어 기술 사용에 있어서 클린룸 환경을 적절하게 설정하는 표준적인 방법은 없다. 각 변수 및 모든 애플리케이션에 대해 검토하여 포지셔너가 클린룸 사용에 적합한지 확인해야 한다. 파카에서는 클린룸 환경에서 적용 가능한 다양한 정밀 리니어 포지셔너를 공급하고 있다.

클린룸에서 사용할 모든 리니어 포지셔너는 미국의 연방 표준 209E 및 ISO 표준 14644에 따라 표준 테스트 절차를 거친다. 그러한 제품들 중 하나가 소형 스퀘어 레일, mSR 시리즈다. 설계 시 접촉면 수가 제한되어 있어 클린룸용으로 이상적이다.

mSR은 다양한 클린룸 애플리케이션에 적용이 가능하다.
-낮은 프로파일과 높은 정밀도가 요구되는 현미경 사용 애플리케이션이나 디지털 병리학과 같은 생명과학 애플리케이션
-직진성, 평탄성 및 높은 정밀도가 요구되는 반도체 도량형 적용
-소형이지만 가속도가 높고 속도 추력이 높아 전자제품 제조의 포지셔너로 사용가능

자료 제공: 파카하니핀코리아(www.ph.parker.com)