로우 프로파일 리니어 스테이지 반도체 웨이퍼 검사에서 높은 속도와 정밀성 제공

Bell-everman

까다로운 품질 관리 체계를 갖춘 반도체 제조업체는 정밀 계측기를 사용해 모든 생산 공정에서 웨이퍼를 검사한다. 이 계측기들의 공통점은 정밀 모션 스테이지 없이는 작동하지 않는다는 것이다.   반도체 검사 시스템 제조업체 Semilab의 메카트로닉스 엔지니어 Brian Bobrzynski는 “검사 과정에서 웨이퍼를 이동할 수 있는 올바른 스테이지를 선택하는 것이, 품질 관리 수준을 달성하는 데에 매우 중요하다”고 말했다.

Bell-Everman Inc가 설계하고 제조한 LowBoy 리니어 스테이지는 최대 280N의 연속 하중에 코깅이 없는 리니어 서보 모터로 구동한다. 콤팩트하고 간소화된 패키지로써 정확한 리니어 포지션닝 장치가 필요한 반도체 계측 애플리케이션에 이상적이다.

LowBoy 스테이지는 Semilab의 WT-3000 double FOUP 플랫폼, WT-2500(다기능 웨이퍼 매핑 도구) 그리고 QC-2500e(표면 인접 도핑 매핑)에 적용된다. WT-3000 및 WT-2500은 유전체 특성 분석 및 에피택셜 레이어 모니터링(epitaxial layer monitoring)과 같은 다양한 반도체 재료 측정을 수행하는 강력한 독립형 측정 플랫폼이다. QC-2500e는 에피 택셜 웨이퍼의 도핑 농도(doping concentration) 및 재조합 수명(recombination lifetime)과 같은 품질을 측정한다. 이러한 비접촉식 플랫폼들이 반도체 fab에서 요구하는 처리량을 높이려면 포지셔닝 속도와 정밀도가 중요하다.

LowBoys는 ±1 엔코더 카운트의 양방향 반복성으로 4m/s까지 속도를 낼 수 있다. 이외에도 LowBoys는 매끄러운 로우 프로파일 디자인이 특징이다. X-Y 스텍 구성에서 전체 높이는 169mm다.   로우 프로파일 설계는 전체 기계 크기를 좌우한다. 스테이지 자체가 너무 높으면 계측 장비를 위한 공간이 충분하지 않다. LowBoy는 플랫폼에서 작업할 수 있는 충분한 공간을 제공할 수 있다.

자료 제공: Bell-everman(www.bell-everman.com)