에피르 / 직교로봇 플랫폼, 나노 머신

· 반도체, 디스플레이 등 초미세 소자의 제조와 측정에 적합.
· 레이저 가공 장비, 광시야 SEM 장비, 오버레이 검사 장비 등 실리콘 웨이퍼의 초정밀 이송 정렬이 필요한 반도체 공정용 가공측정 장비에 최적화된 스테이지 제품.
· 이송속도 1.0m/sec에서 운동 표준편차가 ±50nm 이하.
· 정지 상태에서 가공측정 초점 면과 웨이퍼의 상대적 오차를 수 nm 이하로 유지 가능.

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