에피르 / 레이저 간섭계를 이용한 nm 분해능의 변위측정 장치, 나노큐브

 

 


· 분할주파수 3MHz급, 20MHz급의 He-Ne 레이저를 지원함
· 3축 광학 간섭계를 채택하여 변위뿐만 아니라 기울기와 평면을 동시에 측정할 수 있음
· 4축의 측정 신호 처리기를 기본으로 제공하여 저렴한 가격에 여러 축을 동시에 측정할 수 있음

에피르

 

기자 : 편집부

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