하이덴하인코리아 / High-End Motion Stage, Sub-Nanometer Level Position Control

• Tool Point에서의 Tip and Tilt 기능
• Sub-nm 위치 제어(Position stability +/-0.5 nm)
• High Dynamic(2.5 G가속, 1 m/s속도)
• 두 가지 Z 축 제어(Fine Z, Normal Z 축)
• Active 제진대
• 반도체 전공정 검사장비 최적화
• 제어기, DD모터, Active 제진대, 엔코더 등 핵심 부품을 직접 제조로 Tool point에서의 성능 보장

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