VLCANO STACKED 스테이지 플랫폼

ETEL

VULCANO XY 시스템의 3피스 디자인(three-piece-design)이 기계식 베어링과 고급 광학 엔코더가 결합된 작은 크기와 적절한 비용의 엔지니어링 해결책을 가능케 한다. 하단 축(Y1&Y2)의 기초판(base plate)은 겐트리 모드로 제어되는 2개의 아이언 코어 리니어 모터로 구성되며. 상단 축(X)은 단일 아이언 코어 리니어 모터로 구성된다. 하단 축(Y1&Y2)의 모터와 연결된 상단 축(X)의 베이스 기초판은, 질량 최적화와 다이내믹을 위해 알루미늄으로 만들어졌다. 열팽창은 플렉서 요소(flexure elements)가 처리한다.

바닥 판(bottom plate)에는 리니어 가이드가 3개 있다. VULCANO의 바닥 판에 놓이는 바깥 부분의 리니어 가이드 두 개는 재순환 볼 베어링이며 내부(베이스 플레이트의 중앙에 위치)는 재순환 롤러 베어링으로 구성된다. 가이드 3개 사이의 디커플링(decoupling)은 플렉서 요소를 통해 이뤄진다. 리니어 가이드 바깥의 베어링 블록에 부착된 이러한 요소 중 일부는 X방향으로 이동하는 것을 가능하게 한다. 상단 축(X)에는 리니어 베어링 2개가 통합돼 있다. 디커플링은 레일 중 하나에 대해 Y방향으로 평행 이동하는 것을 허용하는 다른 플렉서 요소 세트를 통해 이뤄진다. VULCANO XYT 플랫폼은 우수한 기계적 베어링에 고정된 고해상도 엔코더를 갖춘, RTTB 로터리 모듈이 장착된 표준 VULCANO XY로 구성된다.

VULCANO XYZ3TH 플랫폼은, Z3TH 결합 모듈이 장착된 표준 VULCANO XY로 이뤄진다. 이 4자유도 모듈은 364° 쎄타 회전, 이중 Z축, 중력 보상기 내장, 척 높이의 진공 공급 장치, 웨이퍼 로딩과 언 로딩을 위한 구동, 정밀 초점 조정, ±0.1° 이상의 기울기 보정을 제공한다. 플랫폼의 애플리케이션은 다음과 같지만, 이에 국한되지는 않는다.

• 웨이퍼 공정 제어 : 오버레이 계측, 크리티컬 디멘션, 박막 계측
• 백 엔드(Back-end) : 대형 패널/기판상의 특정 플립-칩 공정

특성

– 작은 공간과 나노 포지션 안정성
- 빠른 이동과 정착 그리고 높은 역학
- 높은 양방향 반복성
- ISO 클린 룸 클래스 1

자료 제공 : ETEL(www.etel.ch)