알트소프트 / 저온 비평형 방전을 위한 모듈, PLASMA MODULE
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• 저온 플라스마 해석에 최적화됨
• 1차원, 2차원, 3차원 모두 해석할 수 있음
• DC 방전, 유전 장벽 방전, 에칭, 유해가스 제거, 이온 원, 재료공정, 마이크로파 플라스마, 오존 생성, 플라스마 화학, 플라스마 공정, 파워 시스템, 반도체 제작과 제조 그리고 공정 등 다양한 응용 분야에서 활용 가능
알트소프트 www.altsoft.co.kr
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• 저온 플라스마 해석에 최적화됨
• 1차원, 2차원, 3차원 모두 해석할 수 있음
• DC 방전, 유전 장벽 방전, 에칭, 유해가스 제거, 이온 원, 재료공정, 마이크로파 플라스마, 오존 생성, 플라스마 화학, 플라스마 공정, 파워 시스템, 반도체 제작과 제조 그리고 공정 등 다양한 응용 분야에서 활용 가능
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