피아이코리아 / 광 정렬 및 나노포지셔닝을 위한 XYZ 피에조 시스템, P-616

• X,Y,Z축으로 100µm의 변위
• 0.3nm의 높은 분해능 보유
• 피에조 액추에이터 기반으로 긴 수명과 높은 강도 보장
• 초고진공 버전 가능

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