Aerotech, QNPHD 리니어 피에조 나노포지셔닝 스테이지

스테이지와 액추에이터로서의 이점을 사용자에게 제공 가능

Aerotech의 QNPHD 리니어 피에조 나노포지셔닝 스테이지는 하나의 소형 고강도 패키지를 통해 스테이지와 액추에이터로서의 이점을 사용자에게 제공할 수 있다. 직접 계측, 용량성 센서 피드백 옵션, 잦은 공진회로 빈도 그리고 높은 무게 수용량을 가진 QNPHD는 프로브 마이크로스코피 스캐닝, 디스크-드라이브 테스팅과 반도체 와이퍼 아티큘레이션과 같은 광범위한 고속, 고정밀 애플리케이션에 적합하다.

다이렉트 드라이브 액추에이션 디자인과 최적화된 구조는 밀리 초의 응답과 이동&정착 시간을 가능하게 한다. FEA의 최적화된 정밀 훰은 중요한 나노포지셔닝 애플리케이션에 필요한 뛰어난 기하적 기능을 유지하면서 고강도, 오랜 장비 수명과 높은 활력이 가능하게끔 돕는다.

독특한 용량성 센서 디자인을 사용하는 선택적인 폐쇄형 루프 피드백은 서브 나노미터 해결과 하나의 디지트 나노미터 직선성 에러를 감안하며, 용량성 센서들은 직접적으로 최상의 정확성과 반복 가능성을 높일 수 있는 포지셔닝 왕복대의 산출량을 측정한다.

서브 나노미터 포지셔닝에 대한 해결책과 높은 포지셔닝 대역폭 제시 가능

QNPHD는 Aerotech의 Q-Series 컨트롤러와 드라이브들과 연결될 때, 서브 나노미터 포지셔닝에 대한 해결책과 높은 포지셔닝 대역폭을 제시할 수 있다.

또한 QNPHD는 수평과 수직 방향 모두를 위한 특성을 증가시키는 후방과 옆 케이블 출구 옵션에서 사용될 수 있다. 이러한 유연성은 사용자가 크기와 디자인 복잡성을 증가시키는 여러 어댑터 플레이트와 브래킷을 디자인하지 않고도 가장 최적의 배열을 위한 단계에 적응하는 것을 도울 수 있다.

한편, Aerotech의 Dynamic Controls Toolbox와 Motion Designer 패키지들은 Learning Control, Harmonic Cancellation과 Command Shaping와 같이 상당한 진보를 이룬 사용하기 쉬운 도구를 제공 가능하다. 이외에도 Aerotech의 FlashConfig는 자동적으로 스테이지와 모든 기능적인 한도를 확인할 수 있을 뿐만 아니라 안전하고 정확한 “Plug & Play” 기능을 보장하는 축 눈금 데이터를 업로드 할 수 있다.

자료제공 | 애니모션텍(www.animotion.co.kr)