어플라이드 SEMVision G6 결함 검사 시스템

어플라이드머티어리얼즈는 ‘세미콘 웨스트(SEMICON West) 2013’에서 최첨단 마이크로 칩 제조를 위한 기술을 선보였다. 어플라이드(Applied) SEMVision G6 결함 검사 시스템은 획기적인 기계학습지능(Machine Learning Intelligence)과 더불어 주사전자현미경(DR SEM)을 이용해 결함을 검토하는 기술을 업계 최초로 적용한 ‘퓨리티 자동 결함 분류(ADC)’ 시스템을 장착하고 있으며, 높은 해상도의 다차원 영상 기능을 지원하는 것이 특징이다.

또한 최첨단으로 디자인된 완전 자동화 기능을 통해 두 배 이상 빠르고 정밀하게 결함의 원인을 찾아내고, 이전보다 30% 개선된 해상도를 지원하며, 매우 미세하고 얕은 수준의 결함에도 높은 수준의 토포그래피를 제공한다.

│어플라이드머티리얼즈 코리아│Tel. 031-724-7111│www.appliedmaterials.com