최첨단 CVD 필름 기술

어플라이드머티어리얼즈의 AKT-PECVD 시스템에 적용되는 고성능 절연필름은 소비자가 원하는 고화질 스크린 제조에 필요한 보다 작고 빠른 전환 속도의 픽셀을 생산하는 금속 산화막 기반 트랜지스터의 사용을 가능하게 한다.
어플라이드머티어리얼즈의 새로운 PECVD 필름은 금속 산화막 트랜지스터에 수소 불순물을 최소화시킬 수 있는 절연막 계면을 제공함으로써 트랜지스터의 안정성을 향상시키고 스크린의 성능을 최적화시킨다. AKT-PECVD 시스템을 사용하면 이러한 고품질 이산화규소(SiO2) 필름을 9m2 크기의 유리기판 위에 정확하고 균일하게 증착시킬 수 있으며, 보다 적은 제조비용으로 고수율 생산을 실현할 수 있다.
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