원자 수준의 박막 처리 시스템
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어플라이드머티어리얼즈는 반도체 칩의 전력 소비를 줄이는 획기적 기술을 적용한 장비인 ‘어플라이드 프로듀서 오닉스(Applied Producer Onyx)’ 박막 처리 시스템을 선보인다고 밝혔다.
어플라이드머티어리얼즈가 이번에 선보인 ‘어플라이드 프로듀서 오닉스’ 시스템은 반도체 칩의 배선 구조를 절연하는 저유전율(low-k) 박막의 분자 구조를 최적화함으로써 보다 빠르고 전력 효율적인 22나노미터(nm) 또는 그 이하의 반도체 논리 소자(Logic Devices) 제조를 가능하게 한다. 이 시스템은 다공성 절연 박막에 탄소와 실리콘을 주입해 원자 수준으로 절연체의 강도를 높이며, 이는 유전율을 20% 감소시켜 칩의 전력 사용량을 대폭 줄인다.
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