플라즈마 도핑 솔루션 센추라 컨포마
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어플라이드머티리얼즈는 ‘컨포멀 플라즈마 도핑(CPD, Conformal Plasma Doping)’ 기술을 적용, 차세대 메모리·비메모리 칩의 최첨단 3D 구조에 적합한 플라즈마 도핑 솔루션인 ‘센추라 컨포마(Centura Conforma)’ 시스템을 출시한다.
어플라이드머티리얼즈가 새롭게 선보인 이번 장비는 단일 진공 챔버 내에서 고용량, 저에너지 도핑 기술과 동시세정 기능이 결합된 획기적 기술 진보를 이뤄내, 평면뿐만 아니라 복잡한 3D 입체 구조 상에서도 높은 효율의 균일한 도핑이 가능하다. 뿐만 아니라 불순물이 첨가되지 않은 순수한 도핑 화학 물질을 사용하여 기저 장치(Underlying Device) 구조를 보호한다. 이는 기존의 다른 플라즈마 도핑 시스템에서는 찾아볼 수 없는 특징이다.
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