다크필드 웨이퍼 검사 장비
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반도체, 평판 디스플레이 및 태양전지 장비 글로벌 업체인 어플라이드머티리얼즈는 최초로 DUV(Deep Ultra-violet) 레이저 기술을 사용한 다크필드(Darkfield) 웨이퍼 검사 장비인 ‘DFinder’ 시스템을 출시한다.
이번 장비는 22나노미터(nm) 또는 그 이하의 메모리와 비메모리칩 제조공정에 사용되며, 이를 통해 다크필드 웨이퍼 검사 시스템의 공정 범위를 확대할 수 있을 것으로 기대된다. 다크필드 웨이퍼 검사 시스템 최초로 DUV 레이저 기술을 적용한 이 장비는 칩이 만들어지는 웨이퍼 위의 미세 이물질을 보다 효과적으로 검출할 수 있도록 하여 제조 공정에서 칩 수율을 최적화한다.
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