정밀 위치 제어용 스테이지
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순환 엔지니어링은 FPD 장비 업체들이 필요로 하는 스테이지의 성능과 기계적 강성을 만족시키기 위해 소프트웨어 정밀 보상 기술을 포함하는 정밀 제어 솔루션 기술과 각종 유한요소 법 해석 툴 및 분석에 대한 노하우를 가지고 있다.
특히 SPSD180 x SD150-Stage는 최대 20Kg의 부하 조건에서 사용할 수 있으며, 편측식 또는 양측식 리니어 모터로 구동되는 정밀 위치 제어용 스테이지이며, 비접촉 고성능 리니어 모터와 ‘최대 0.1micron’ 분해능까지 피드백 가능하다.
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