크린룸 사양 - 밀폐형 직선 전달장치 시스템 SBD

햅코 모션(HepcoMotion)의 밀폐형 직선 전달장치 시스템인 SBD의 크린룸 사양은 점점 더 그 수요가 많아지는 깨끗한 제조공정이나 환경에 대한 소비자들의 요구를 충족시켜주기 위해 고안된 제품이다.

이 제품은 파티클 발생을 최소화시키기 위한 진공 배출구에 바로 연결하여 사용할 수 있다. 모든 외부 부품들은 아노다이징 처리가 된 알루미늄이나 스테인리스 스틸 재질로 되어 있다. 특히 이 제품은 FraunhoferIPA 연구소에서 ISO 14644-1 Class 3 규격에 준함을 인정해 주는 크린룸 환경 인정서를 획득했다.

유닛은 한본 당 SBD-80의 경우에는 60mm, SBD30-100의 경우에는 80mm 배수단위를 기본으로 하여 최대 6000mm까지 공급이 가능하다. 연결하여 사용할 경우, 더 긴 길이도 가능하다. 명목상 스트로크 길이는 내부 버퍼를 고려한 캐리지를 기준으로 계산되며, 실제로는 초과량을 감안하여 좀 더 여유분을 두어야 한다.