고정밀도, 컴팩트한 마이크로 스테이지
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요꼬가와전기의 마이크로 스테이지는 수십 년의 판매 실적으로 신뢰성을 확보한 DD 모터, 다이나서보와 같은 원리를 이용한 DD 리니어 모터, 리니어 서보를 조합해서 완성된 독자적은 X-Y-θ 스테이지이다. 이 제품의 DD 모터는 감속기 없는 특징으로 고정도, High Tact의 차세대 액추에이터로서 기존의 AC/DC 서보 모터를 대체하며 많은 FA용 장치 및 기계에 채택되었다.
이 마이크로 스테이지는 이러한 리니어 서보에 의해 X-Y 스테이지에 구성되어 회전의 다이나서보에 의한 θ 스테이지를 추가함으로써 고정밀도, 고속, 컴팩트하고 Maintenance가 자유로운 직동, 회전형 스테이지를 실현했다.
현재 이 제품은 각종 산업장치 및 기계, 특히 반도체 제조 및 검사장치, 액정 제조장치 등의 용도에 최적화되어 있다. 이미 시장에 많은 실적을 달성하여 고성능의 신뢰성까지 확보한 정밀 스테이지로서 높은 평가를 얻고 있다.
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