고성능 Calibrator 시스템으로 공작기계 및 스테이지 정밀 측정
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삼중과학㈜의 Calibrator 시스템은 공작기계와 스테이지의 위치 정확도를 측정하며, 공작기계와 스테이지의 위치 오차를 수정하기 위한 보상용 데이터의 제공하고 있다. 3년 이상의 수명 보장과 5만 시간 이상의 신뢰성 보증, 기존 장비보다 월등한 안정도와 반복도, 견고함을 위한 SUS 재질의 정밀 부품 사용, 24시간 연속 측정 등의 성능으로 어디에서나 측정을 할 수 있다.
또한 레이저 위치 제어 간섭계인 Transducer 시스템은 초정밀 제어를 필요로 하는 CCM(3차원 측정기), Photo Lithography Set, 반도체 장비, PDP/LCD 장비 등에 사용되고 있으며, 2m/sec의 속도와 0.077nm의 분해능을 가지고 있다.
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