LCD, PDP를 위한 초정밀 측정 시스템

모션 부분의 토탈 솔루션을 제공하고 있는 디씨티㈜의 초정밀 에어 베어링 스테이지는 이송부분에 적용되는 LM 가이드 대신 에어 베어링을 사용하여 기구적인 마찰부분을 제로화시킬 수 있으며, 모션 부분의 주행 특성 및 기구적 안정성을 향상시킨 초정밀 스테이지라고 할 수 있다.
이 회사는 정밀 측정 시스템에서의 중요한 부분인 모션의 위치 정도를 전 구간에서 ±1.5㎛로 구현했으며, 반복 정도는 ±0.5㎛를 실현하고 있다. 이러한 초정밀 제품은 모션 정밀도 확보에 필요한 기구적 특성인 Flatness 및 Straightness 부분을 ±5㎛이하로 제작하여 다양한 정밀 측정 시스템에 적용할 수 있다.

디씨티㈜
Tel. 031-605-4000
www.linearworld.com

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