패널과 마스크 정렬을 위한 고정밀 UVE 얼라이먼트 스테이지

㈜세다는 패널과 마스크 등의 정렬에 필요한 정밀 UVW 얼라이먼트 스테이지를 시장에 공급하고 있다. LCD, OLED 제조를 위해서는 PANEL과 MASK 등의 정밀 정렬이 필요하며, 한 평면 좌표상에서 X, Y, Rotate(UVW) 방향을 구동시킴으로써 평탄도 관리 및 조립시의 기구에서 발생하는 에러를 최소화시켜야 한다.
이 회사의 스테이지는 ±1 미크론의 위치 반복 정밀도와 우수한 위치 제어 특성을 가지고 있다. 정밀 직선, 회전 베어링과 스크류로 구성된 무빙 모듈을 배치할 수 있으며, 3개의 모터로서 X, Y, 델타 방향으로 대상물을 이송시킬 수도 있다. 사용자의 시스템에 맞춰 다양한 크기, 형태 검토, 설계, 제작할 수 있는 것도 장점이다.

㈜세다
Tel. 031-737-5689
www.sedar.co.kr

기자 :

날짜 : 2007-12-11

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