Clean Linear Servo 시리즈는 리니어 모터를 채용하여 0.2 미크론에서 5미크론 이내의 정밀 위치졀정이 가능하며, 최대 3000mm/sec의 고속운전 및 저소음 운전이 가능하다. 클린화에 대응하여 Clean Class 10급 정도의 청정환경에서 사용이 가능하며, 본체 상부에 스테인리스 밀폐형의 방진구조로 되어 있어 분진 및 이물질이 침투되지 않도록 설계되었다. LM 블록은 NSK S1 시리즈인 볼리테이너 피스를 삽입하여 강구와 강구사이의 충돌이 없고 저진동에 아주 강하다. 주요 적용분야로는 반도체장비, LCD, PDP, TFT 제조 및 측정 장비, 가공, 조립기 등에 적합하다.
