300mm 웨이퍼 검사를 위한 단평면(Single Plane) 스테이지

순환엔지니어링㈜은 지난 6개월간 약 1억 5000만원의 연구비를 투자하여 300mm 반도체 웨이퍼용 단평면 XY 에어베어링 스테이지(Single Plane XY Airbearing Stage)를 개발했다. 이로써 순환엔지니어링은 정밀 반도체용 장비업체를 위한 솔루션을 확보하였으며, 이 제품을 응용하여 다양한 모델의 스테이지 요구에 대응하는 스테이지 공급이 가능하게 되었다.
단평면(Single Plane) 스테이지는 XY 두 축이 같은 평면상에 위치하여 슬라이드의 위치를 최대한 낮춰 Abbe 오류를 최소화 할 수 있으며, 나노미터급 초정밀 스테이지에서 많이 사용되고 있다. 또한 스캔 축에 에어 베어링을 사용하여 ±0.1%의 속도 편차를 얻을 수 있으며, 전 영역에서 1μm이내의 반복 정밀도를 나타내고 있다. 주요 응용 분야는 각종 웨이퍼 박막 검사, Critical Dimension 측정, Overlay 측정 등이다.
이외에도 순환엔지니어링은 반도체 웨이퍼용 초정밀 스테이지를 향후 3년간 내수 및 수출 주력 제품으로 선정해 주요 장비업체와 공급 및 계약 상담을 하고 있는 것으로 알려졌다.

㈜순환엔지니어링
Tel. 031-737-1600
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