Xeryon, 초음파 리니어 피에조 스테이지 ‘XLS 시리즈’

1. 나노미터급 위치 제어

• 폐루프 제어로 최소 5nm 분해능 제공

• 고정밀 검사·정렬 공정에 적용 가능

2. 장거리 직선 이송 지원

• 구성에 따라 10~110mm 이동 범위 제공

• 소형 스테이지에서 긴 스트로크 구현

3. 고속·저속 스캔 대응

• 5㎛/s 저속 스캔부터 운용 가능

• 최대 200mm/s의 연속 이송 속도 지원

4. Crossfixx 초음파 구동

• Crossfixx 초음파 피에조 모터 적용

• 스크류·기어 없는 직접 구동 구조 구현

5. 컴팩트 시스템 구성

• 13mm 높이부터 시작하는 저상형 설계

• HV·UHV 진공 호환 옵션 선택 가능

자료제공: Xeryon (www.xeryon.com)