유닉스엔지니어링, 정밀 자동화 공정 대응력 강화한 고정밀 회전 스테이지 ‘NEO STAGE’

반도체·디스플레이 등 정밀 공정에서 회전 정밀도와 안정성에 대한 요구가 높아지면서, 회전형 스테이지는 핵심 모션 제어 장비로 자리 잡고 있다. 유닉스엔지니어링(UNIX ENGINEERING) 의 ‘NEO STAGE UE-M285-T20/330’은 고정밀 각도 제어와 고강성을 동시에 구현한 회전형 스테이지로, 정밀 자동화 공정 대응력을 높인 제품이다.

UE-M285-T20/330은 Ø285mm 회전 플랫폼과 최대 330° 구동 범위를 제공하며, 정밀 베어링 구조를 적용해 구동 시 흔들 림과 진동을 최소화했다. 특히 고강성 크로스 롤러 베어링을 적용해 하중 지지 능력과 회전 안정성을 동시에 확보했으며, 최대 60kg의 가반하중을 지원한다.

구동부에는 Slotless 리니어 모터를 적용해 Cogging이 없는 부드러운 회전 특성을 구현했으며, 속도 리플을 최소화해 안정적인 모션 품질을 제공한다. 또한 서보 제어 기반의 빠른 응답성과 정밀 속도 제어를 통해 검사·정렬·가공 공정에서 생산성과 품질 안정성을 높일 수 있다.

위치 제어 측면에서는 50nm급 고분해능 광학식 엔코더를 적용했으며, Absolute 및 Incremental 방식 선택이 가능하다. 이를 통해 반복 정밀도를 향상시키고 미세 위치 결정이 필요한 공정에 서도 안정적인 성능을 지원한다.

UE-M285-T20/330은 반도체 및 디스플레이 공정을 비롯해 정밀 검사, 광학 정렬, 고정밀 가공 등 고정밀 회전 제어가 요구되는 장비에 다양하게 적용될 것으로 기대된다.

자료제공: 유닉스엔지니어링(www.unixeng.co.kr)