포토닉스 정렬 공정의 새로운 기준! 6축 피에조 얼라인먼트 시스템 ‘P-616.65S’

6자유도 모션, 초소형 풋프린트, 고속 포토닉스 First-light 탐색및 정렬 알고리즘이 컨트롤러 펌웨어에 통합되었다.

포토닉스 정렬을 위한 초소형 6자유도 피에조 스테이지

P-616.65S NanoCube 6자유도 피에조 플렉셔 스테이지는 고속 포토닉스 및 마이크로 광학 정렬 작업에 최적화된 제품이다. X, Y, Z 방향 각각 500 µm의 선형 이동과 θX, θY, θZ 방향에서 3°의 회전이 가능한 병렬 키네마틱 6축 모션을 제공하며, 포토닉스·반도체·현미경 분야에서 소형화, 동적 성능, 정밀도의 새로운 기준을 제시한다. 

사용자 프로그래밍이 가능한 가상 피벗 포인트와 컨트롤러 펌웨 어에 직접 내장된 고속 정렬 루틴은 활용도를 더욱 높여 셋업 및처리량을 가속화한다.  마찰 없는 플렉셔 구조는 350 Hz의 공진 주파수로 높은 강성을 제공하며, 빠른 동적 응답과 고속 스탭 앤 세틀 성능을 구현한다. 이러한 특성은 자동 스캐닝과 다채널 포토닉스 얼라인먼트와 같은 고속 정렬 작업에 특히 적합하다.

컨트롤러 펌웨어 기반 자동 정렬과 신뢰성 설계
 

1000억 회 사이클 수명이 입증된 PICMA 세라믹 액추에이터로 구동되며, 24/7 고부하 환경에서도 뛰어난 신뢰성을 제공한다. 고해상도 센서 기반의 폐루프 위치 제어는 모든 축에서 나노미터급 반복 정밀도를 보장한다.

PI의 E-713 디지털 나노포지셔닝 컨트롤러와 결합하면, FirstLight 탐지, 그래디언트 서치, 좌표 스캔, 다축 최적화를 위한 고속 펌웨어 루틴을 사용할 수 있다. 외부 스크립트나 PC 계산이 필요 없기 때문에 생산 환경에서 정렬 시간을 크게 단축한다.

NanoCube는 포토닉스 산업을 위해 PI가 제공하는 다양한 정렬 솔루션 포트폴리오를 보완하는 제품으로, 우수성을 인정받은 헥사포드 기반 FMPA 시스템부터 비용·처리량 최적화에 초점을 둔모듈형 PINovAlign 제품군까지 폭넓게 활용된다. 제조사들이 더작은 풋프린트와 높은 처리량을 요구함에 따라, 새로운 피에조 플렉셔 기반 솔루션은 고부하 포토닉스 조립 및 테스트를 위한 강력한 도구가 될 것이다.

자료제공: 피아이코리아(www.pikorea.co.kr)