PI,고속·고정밀 6축 나노포지셔닝 스테이지 ‘F-690’

PI(Physik Instrumente)는 산업 및 연구 현장에서 고속·고정밀 다축 제어가 필요한 산업을 위해 설계된 소형 6축 나노포지셔닝 스테이지 F-690.S1을 선보였다.

F-690.S1은 하이브리드 병렬, 직렬 키네마틱 설계와 3상 리니어 모터 직접 구동 방식을 적용해 마찰을 최소화하고, 모든 리니어및 회전 자유도에서 뛰어난 동적 응답성을 제공한다. 또한 나노미 터급 분해능, ±100nm 수준의 양방향 반복정밀도, 컴팩트한 구조를 갖춰 계측, 포토닉스, 반도체 검사, 마이크로 조립, 광학 등 고속·고정밀 프로세스에 이상적인 플랫폼이다.

ACS 고급 모션 컨트롤러와 결합해 정밀한 모션 시퀀싱과 실시간 최적화를 제공하며, 까다로운 공정에서도 안정적인 성능을 구현한다.

광 정렬을 위한 통합 최적화 기능

이 시스템에는 고속 다채널 포토닉스 얼라인먼트 루틴이 내장된 ACS 모션 컨트롤러가 기본 제공돼, 고속 area scan 및 gradient search를 지원한다. 이를 통해 정렬 시간을 크게 단축하고 비용을 절감할 수 있다. 선택 사양인 PILightning 모듈을 적용하면 첫번째 광(First Light) 검출 속도를 한층 더 가속화할 수 있다. 또한 F-690.S1은 파이버 어레이 정렬에도 적합하다.

주요 특징

• 앱솔루트 측정 센서 기반 1nm 분해능

• 10nm의 최소 이동 거리

• 50mm의 최대 이동 범위

• 500mm/s 및 100°/s의 빠른 속도

• 한정적인 공간에 적합한 낮은 프로파일 설계

응용 분야
 

F-690.S1은 나노미터 정밀도, 역동성, 최대 2kg 하중이 요구되는 고속 정렬 및 포지셔닝 작업에 적합하다. 주요 응용 분야는 실리콘 포토닉스, 렌즈 얼라인먼트, PIC 제조, 마이크로 어셈블리, 정밀 계측 및 검사 등이 있다.

자료제공: 피아이코리아(www.pikorea.co.kr)