ALIO Industries, 높은 정밀도와 유연성 자랑하는 초정밀 모션 플랫폼 ‘ThruSight-Focus’

이미징과 프로세싱 기술이 고도화되고, 연구·제조 현장에 공간 제약이 심화되면서 모션 제어 플랫폼에 대한 요구가 달라지고 있다. 단순히 정밀한 위치 제어를 넘어, 장비 통합의 유연성과 양방향 접근성이 새로운 기준으로 부상한 것이다. ALIO Industries의 ‘ThruSight-Focus’는 이러한 흐름에 맞춰 탄생한 차세대 XYZ 모션 플랫폼으로 주목받고 있다.

양면 접근으로 워크플로우 혁신
 

기존 모션 플랫폼은 샘플이나 웨이퍼, 미세 부품 등에 한쪽 면에 서만 접근할 수 있어, 디지털 병리학·유전체 시퀀싱·웨이퍼 프로 세싱·마이크로렌즈 정렬 같은 분야에서 복잡한 작업 단계를 요구 했다. ThruSight-Focus는 로우프로파일 오픈 센터 디자인을 적용, 상하좌우 어느 방향에서도 광학 및 레이저 접근이 가능하다. 이를 통해 양면 이미징과 정렬·처리가 중요한 생명과학, 반도체, 광자공학 분야에서 수율과 정밀성을 동시에 확보할 수 있다.

백래시 없는 Z-WEDGE 메커니즘
 

제품의 핵심은 직접 구동 Z-WEDGE 시스템이다. 전통적인 회전-선형 변환 방식이 가진 백래시와 기계적 소음 문제를 제거하고, 수평 구동력을 수직 운동으로 직접 전환한다. 이 방식은 로우프로 파일 구조에서 고속·고안정 Z축 제어를 구현해 레이저 미세 가공 이나 광학 초점 제어에 탁월한 성능을 발휘한다.

입증된 XY 정밀도와 대형 이동 거리

ThruSight-Focus는 Z-WEDGE와 함께 ALIO의 개방형 센터 모노리식 XY 스테이지를 결합했다. 직접 선형 드라이브와 크로스 롤러 베어링으로 구성된 이 스테이지는 ±50nm 수준의 양방향 반복 정밀도를 보장한다. 이동 거리는 X축 118인치, Y축 64인치, Z축 5mm로, 대면적 영역에서도 평탄도·직진도·강성을 유지해 나노미터급 정밀도가 필요한 공정에 최적화됐다.

통합 용이성과 유연한 아키텍처

시스템 통합업체들이 직면한 가장 큰 과제 중 하나는 제한된 공간 속에서 더 많은 성능을 구현하는 것이다. ThruSight-Focus는 컴팩트한 구조로 OEM 장비, 연구실, 클린룸 환경 어디에든 쉽게 통합된다. 또한 개방형 아키텍처는 불필요한 브래킷이나 보조 광학 장치의 필요성을 줄여 장비 설계의 복잡성을 최소화한다.

차세대 정밀 플랫폼
 

ALIO Industries는 ThruSight-Focus를 단순한 스테이지가 아닌 ‘정밀 구현 기술(Precision Built for You)’로 정의한다. ALIO Industries 관계자는 “차세대 이미징 도구 개발, 반도체 패키징, 고정밀 레이저 가공 등 복잡한 제조 환경에서 ThruSight-Focus 는 정밀성과 접근성, 유연성을 모두 갖춘 새로운 표준으로 자리매 김할 것으로 기대한다”고 말했다.

자료제공: ALIO Industries(www.alioindustries.com)