PI, 반도체 및 광학 산업에 최적화된 B-421 BIX 초소형 정밀 리니어 스테이지

정밀 모션 제어 및 포지셔닝 기술 분야의 선도 기업 Physik Instrumente(PI) 는 초소형이면서도 탁월한 정확도를 제공하는 B-421 BIX 고정밀 리니어 스테이지를 새롭게 선보였다고 밝혔다. 이번 신제품은 PI의 제품 포트폴리오를 확장하는 한편, 반도체, 현미경, 포토닉스 및 광학 빔 제어와 같은 고정밀 애플리케이션에 적합한 솔루션으로 주목받고 있다.

B-421은 스틱-슬립 원리를 활용하는 통합 피에조 기반의 2상 관성 드라이브 (BIX)를 채택해 나노미터 단위의 초정밀 포지셔닝이 가능하며, self-locking 메커니즘을 통해 장시간 위치 안정성을 유지한다. △ 25×29×11mm의 컴팩트한 크기 △최대 14mm/s의 속도 △최소 10nm의 이동 거리 △6nm의 분해능을 구현할 수 있다.

특히 이 제품은 적층 가능한 구조로 설계되어 다축 시스템 구성에 용이하며, 복잡한 얼라인먼트 작업에 서도 높은 유연성을 제공한다. 최대 구동력은 2.5N이 며, 가반 하중은 XY 방향 0.5kg, Z 방향 0.15kg으로 소형 장비임에도 비교적 높은 하중을 처리할 수 있다. 스테이지는 전용 E-881 BIX 컨트롤러를 통해 최적의 성능을 구현할 수 있도록 설계되었다.

PI 관계자는 “B 421 BIX 리니어 스테이지는 고정밀, 고안정성을 동시에 갖춘 제품으로, 반도체 산업 내 마이크로칩 품질 관리와 같은 하이테크 애플리케이션의 까다로운 요구 조건을 충족한다”며 “TIRF 및 STED 현미경 등 최신 고해상도 장비의 정밀 빔 제어에도 이상적인 솔루션”이라고 설명했다.

자료제공: 피아이코리아(www.pikorea.co.kr)