PI, ‘14ACMOS’ 프로젝트에 참여 “반도체 제조 기술 노드 개발에 기여”

▲ 웨이퍼 정밀 포지셔닝용 피에조 스테이지

차세대 반도체 기술 노드를 위한 신규 EU 자금 지원 프로젝트 ‘14ACMOS’ 는 14 옹스트롬 (1.4 나노미터) 선폭의 칩 구조 생산이 가능할 것으로 기대를 모으고 있다. Physik Instrumente (PI)는 100만 분의 1 밀리미터 이상의 정확도를 갖춘 초고정밀 나노포지셔닝 시스템을 개발함으로써 연구 프로그 램에 참여하고 있다.

현재 최신 기술은 3nm 기술로 제조된 하이엔드 마이크로칩이다. 2nm 기술 노드의 생산 기술은 이르면 2025년에, 1.4nm (14옹스트롬)은 2027년에 가능할 것으로 보인다. 옹스트롬은 원자 거리를 설명하는 데 사용된다. 1 옹스트롬은 천만 분의 1밀리미터 또는 0.1나노미터와 같다. 인간의 머리카락 두께가 약 8만nm인 것과 비교하면 굉장히 미세한 수치이다.

9500만 유로 규모의 14ACMOS는 유럽 연합에서 공동 자금을 지원하고 ‘Joint Undertaking for Chips(Chips JU)’에서 후원한다. 이 프로젝트는 ASML이 주관하고 6개국의 25개 파트너가 참여한다. 목표는 유럽 반도체 산업에 대한 선도 공급업체들의 노하우와 개발 전문 지식을 한데 모아 14A 반도체 기술을 가능하게 하는 것이다.

PI는 수십 년 동안 반도체 산업의 시스템 파트너로서 광범위한 반도체 생산 분야에서 포지셔닝 시스템을 제공하고 있다. 품질 관리를 위한 리소그래피 및 계측 분야에서 나노포지셔닝의 전문성은 특히 중요하다. 14ACMOS 프로젝트의 일부로 개발될 포지셔닝 시스템은 진공 조건에서 정확하고 역동적이며 경제적으로 작동해야 한다.

PI 관계자는 “피에조 기술 노하우 및 광범위한 포트폴리오로 반도체 산업의 요구 사항을 충족하고 미래 기술 동향 및 노드를 지원할 수 있는 솔루션을 제공할 것이다”라고 말했다.