이노6, 고정밀 스테이지로 반도체와 디스플레이 전 공정에서 활약

리니어 모터 자체 개발로 가격 경쟁력 확보

이노6가 독보적인 기술력으로 탄생시킨 고정밀 스테이지로 반도체와 디스플레이의 고부가가치 시장에서 선전하고 있다. 특히 리니어모터를 자체 개발해 원가 절감에 성공, 가격 경쟁에서 우위를 차지하고 있다.

2012년에 설립된 이노6는 리니어 모터, 광 기구 부품, 소형스테이지, 반도체용 정밀스테이지, FPD용 대형스테이지를 생산에 주력해왔다. 이노6는 단련한 기술력을 바탕으로 현재 인더스트리 4.0에 발맞춰 스마트팩토리를 위한 지능형물류시스템과 로봇 개발에도 심혈을 기울이고 있다.

박경도 부사장은 “이노6은 4년 전부터 자체 브랜드 리니어 모터 개발에 성공했다.”며 “국내와 베트남에 기계가공 인프라를 조성해 원가 절감과 납기 문제를 동시에 해결했다.”고 말했다.
조규중 이사는 “원가 상승, 환율 상승 등에 안정적으로 대처할 수 있는 것이 이노6의 최대 강점”이라며 “국내 뿐 아니라 중국 전역에 이노6 리니어 모터를 탑재한 스테이지를 수출하고 있다.”고 소개했다.
이노6는 자체 개발한 리니어 모터를 국내외 대기업 공통사양서에 추천 부품으로 등록시켜 장비 시장에서 보다 적극적으로 설계에 반영되도록 했다.

독보적인 기술력

이노6는 반도체와 디스플레이 제품력을 향상시킬 수 있는 독보적인 모션 기술을 적용한 고정밀 스테이지로 고객들에게 호응을 받고 있다.

반발력 저감 구조

이노6 스테이지는 스테이지의 이송부 이동으로 고정부에 가해지는 반발력으로 인한 진동을 감쇠하기 위해 마그넷트랙에 스프링 〮 댐퍼 구조물을 추가했다. 이노6는 시스템 베이스 위에 설치해 반발력을 저감시켜 주는 방식과 시스템 베이스와 별도 독립되어 분리된 구조물로 반발력을 전달시키는 방식으로 나눠서 생산하고 있다. 조 부장은 “실제 양산과정에서 이 솔루션을 적용한 것은 이노6이 유일하다”고 말했다.

오리피스 공기 베어링

고정밀 스테이지에 대한 시장 요구를 반영해 이노6는 기계적인 베어링을 사용하기보다 마찰이 없이 부드러운 모션이 가능한 공기 베어링 기술을 적용했다. 공기 베어링 방식은 리니어 방식보다 더욱 정밀하게 모션을 제어한다.

이노6의 공기 베어링 시스템은 이동자에 오리피스 노즐을 적용한 것으로, 패드 타입의 공기 베어링 시스템보다 간결해진 기구 구조와 구조 강성으로 이동부의 구동 정밀도를 높였다. 아울러 공기베어링 시스템은 열에 의한 물리적 변형량을 최소화하고 베어링 틈새에 존재하는 공기막으로 고속 이동시에도 발열이 적다.

강제 냉각 모터

스테이지를 구동하기 위한 액추에이터의 발열은 시스템 성능에 영향을 준다. 이노6는 열에 대한 냉각 효율을 높이기 위해 코일 표면에 직접 냉각수를 공급했다. 발열 억제가 될 수 있는 코어리스 타입의 리니어 모터와 알루미늄 하우징을 이용해 적층 코어와 코일의 외부에 직접 냉각하는 방식의 코어 타입의 리니어 모터 시스템을 개발, 생산하고 있다.

고정밀 스테이지의 주요 레퍼런스

Flexible cell cutting stage
이노6는 설립과 동시에 국내 S사, 중국 OLED 생산 전방 업체에 Flexible OLED 생산에 필요한 Laser cell cutting 공정 스테이지를 80% 이상을 공급하면서 대형 OLED 생산에 필요한 레이저 장비용 스테이지 시장을 선점했다.
4m이상 되는 대 행정 스테이지의 진직도, yaw 등 정렬 성능을 극한으로 높이고, 제조 노하우를 확보해 정밀도와 가격 경쟁력을 확보했다.

Laser Lift off & Laser Annealing stage
6G OLED기판을 높은 정속성을 기반으로 반송하며 Laser로 공정을 진행하는 7m급 대형 Air bearing 스테이지다.
이노6는 유동 해석, 구조 해석을 바탕으로 Orifice 구조를 최적으로 설계했다. Orifice Air bearing 석정반 제작기술, 정밀 측정기술, 구동 제어 기술을 바탕으로 한 고성능 Air bearing stage다.

6G smart TFT 노광기용 stage
수입에 의존하던 TFT 노광기 스테이지를 디스플레이 업체인 L사와 같이 국산화에 성공, 양산 라인에 적용 중이다.   대형 디스플레이 스테이지 중 가장 정밀도가 높다. 구동 반발력에 의한 진동이 metro frame으로 전달되는 현상을 감쇠시키는 ‘Reaction Force suppression system’을 장착했다. Laser interferometer Position Feedback제어, Active Isolator 등이 적용, 대상물의 위치를 나노급으로 제어한다.
정밀 제어 기술, 제진 기술, 측정 기술 등이 융합된 고부가가치 제품으로 기술진입장벽이 높다. 하이엔드 스테이지 시장을 공략할 이노6의 주력제품이다.

대표적인 도입 사례

TFT 노광 공정용 반력저감 구조가 적용된 6자유도 초정밀 모션 스테이지
이노6는 TFT 노광 장비용 반력저감 구조가 적용된 6DOF 초정밀 모션 스테이지를 제작, 납품 한다. 구동부의 가 〮 감속시 발생하는 반발력으로 인한 진동을 감쇠하기 위해 메인 구조물과 반발력을 흡수할 수 있는 구조물이 각각 독립된 형태로 설계 됐다. 시료의 자세를 보상하기 위한 ZT-Tip/Tilt (4DOF) 모듈이 적용됐다.
노광 공정의 절대 위치 정밀도 확보를 위해 실제 노광 공정이 이루어지는 Chuck 구조물에 Bar mirror 기반 레이저 위치 피드백 시스템을 구현했다.

PCB 스텝 노광 공정용 초정밀 모션 스테이지
Scan & Step 공정용 스테이지 시스템으로 Planar 구조 기반 상 〮 하부 축은 공기 베어링 가이드 구조로 설계되어 있다. 10m/s2 이상의 고가/감속 기반 짧은 거리를 반복적으로 움직이는 모션으로 인한 시스템 진동을 저감시키기 위해 반발력 저감 시스템이 적용됐다. Bar mirror 기반 레이저 위치 피드백 시스템을 적용해 실제 공정위치 기준으로 절대 정밀도를 향상시켰다.

주요 제품

Cassiopeia
300mm 웨이퍼를 대응할 수 있다. 고정밀 LM가이드와 고해상도 선형 엔코더가 적용됐다. Stack type의 XY스테이지 구조를 기반으로, 사용 목적에 따라 T-Module, ZT-Module, ZT4D-Module을 결합해 사용할 수 있다.

Pegasus
300mm 웨이퍼를 대응한다. 이노6가 자체 개발한 오리피스 타입의 공기 베어링 가이드와 고해상도 선형 엔코더가 적용됐다. 오리피스 타입의 공기 베어링은 열에 의한 변형량을 최소화하기 위하여 세라믹, 화강암 소재를 사용한다.
Planar type의 XY스테이지 구조를 기반으로, 사용 목적에 따라 T-Module, ZT-Module, ZT4D-Module을 결합해 사용할 수 있다.

TFT 노광 장비용 스테이지
2세대 TFT 노광 공정을 대응한다. Planar 구조 기반의 패드 타입 공기 베어링 가이드와 고해상도 선형 엔코더가 적용됐다.
시스템 구동에 따른 반발력을 상쇄시켜주는 기구 구조로, Chuck Table의 자세 제어, 정밀 위치 제어를 위해 ZT-Tip/Tilt Module 및 Bar mirror 기반 레이저 위치 피드백 시스템을 적용할 수 있다.

우수한 기술력으로 고부가가치 시장 집중 공략
조규중 이사는 “이노6는 고부가가치 시장 진출을 위해 리딩 기술력으로 고품질 반도체용, 진공용, 노광기용 스테이지 생산에 주력할 것”이라고 말했다. 박경도 부사장은 “하이엔드 산업군인 디스플레이 전 공정 장비와 Micro LED/QD-OLED 영역에 집중하겠다”며 “이노6는 곧 선보일 MMLMS(Moving Magnet Linear Motion System) 솔루션으로 스마트 팩토리 시장에도 진입할 예정”이라고 밝혔다.