Optimal Engineering / 높은 해상도와 0.5µm 반복 정밀도의 고정밀 Z축 엘리베이터 스테이지

Optimal Engineering Systems Inc.(OES)는 새로운 고정밀 Z축 엘리베이터 스테이지 두 가지 종류의 신제품을 출시했다.
AZV9010과 AZV9020 전동 Z축 선형 포지셔닝 스테이지의 수직 이동 거리는 각각 10mm와 20mm이다.
각 Z축 스테이지의 수직 운동은 1mm 리드가 있는 8mm 직경의 볼 스크루로 구동되며 크로스 롤러 베어링으로 가이드 된다. 스텝 모터 드라이브마다 10/20 마이크로 스텝으로 0.1µm 또는 0.05µm의 높은 해상도와 ±0.5µm의 반복 정밀도를 갖는다.

이는 두 Z축 스테이지를 현미경과 검사, 계측, 포지셔닝, 광기술, 샘플링, 레이저 드릴링, 가공 분야에 적합하게 한다.
각 스테이지에는 고정 또는 작업을 위한 탭이 있는 90×90mm(3.543×3.543inch) 테이블이 있다. 또한 각 스테이지는 5µm의 동적 진직도(Straightness, 기하학적 형상 공차)와 30µm의 동적 평행도(Parallelism, 기하학적 형상 공차)가 특징이다. Z축 최대 이동 속도는 5mm/sec(0.196inch/sec)이며, 적재 용량은 5kg(11.0Ibs)이다.
각 스테이지에는 수동 조정용 스위치가 있으며 모션 제어기와 함께 플러그 앤 플레이 방식으로 스테이지를 제공할 수 있다.

자료 제공: Optimal Engineering(www.oesincorp.com)