PI / 높은 이동 정확도와 안정성을 위한 정밀 XY 스테이지

광학 검사, 레이저 커팅과 마킹, 산업 측정 기술, 현미경 검사에는 높은 정확도, 안정성, 처리량을 위한 빠른 포지셔닝 시스템이 필요하다. PI(Physik Instrumente)는 많은 애플리케이션에 정밀 솔루션을 제공하기 위해 여러 가지 옵션의 XY 스테이지를 개발했다.

소형 포지셔닝 시스템의 이동 범위는 X와 Y 방향으로 100~300mm이며, 최대 500mm/s 속도와 0.05μm의 단방향 반복도를 갖는다. 통합된 고분해능 리니어 인코더는 플랫폼에서 위치를 직접 측정한다. 평면 설계는 적층 오차를 최소화하고 강성을 높인다. 위나 아래에서 샘플 또는 작업물에 접근할 수 있도록 중앙에 큰 애퍼처(aperture, 구멍)가 있는 버전도 제공한다.

XY 스테이지 시리즈에는 리니어 모터 다이렉트 드라이브(V-731, V-738, V-741)와 스테퍼모터 그리고 DC모터(L-731, L-738, L-741)가 있다. 3상 마그네틱 리니어 모터는 구동 트레인에 기계 부품이 필요하지 않으며 마찰 없이 직접 구동 플랫폼으로 구동력을 전달한다. 따라서 최대 500mm/s 속도가 가능하며, 아이언리스모터는 영구 자석 사이의 코깅 현상이 없기 때문에 높은 정밀도를 요하는 포지셔닝에 적합하다. 또한, 가장 낮은 속도에서도 부드러운 주행을 가능하게 하며 높은 속도에서 진동이 발생하지 않는다.

L-731, L-738, L-741 XY스테이지는 스테퍼 또는 DC모터를 써서 최대 90mm/s의 속도로 작동하며 정밀 볼 스크루를 구동할 수 있다. 또한, 2상 스테퍼 모터는 낮은 속도에서 높은 토크를 발생시킨다. 부드러운 주행과 높은 속도가 필요한 애플리케이션에서는 DC모터를 권장하고 있다.

자료 제공: PI(www.physikinstrumente.com/en/)