PI Korea / 넓은 모션 범위에서 높은 정밀도를 구현할 수 있는 PIOne 센서 개발

넓은 모션 범위에서 고분해능 구현과 모션 에러를 최소화하기 위해서는 고성능 측정 시스템이 반드시 필요하다. 정전용량 센서는 나노미터 이하의 분해능과 매우 높은 안정성과 신뢰성을 구현한다. 그러나 모션 범위가 1mm 이상일 때 센서 영역의 크기가 커져 넓은 설치 공간이 필요하고 분해능과 신뢰성이 감소하기 때문에 보통 엔코더를 사용한다.

엔코더와 같은 일반 센서는 1nm 이상의 분해능 구현이 불가능하거나, 할 수 있더라도 상대적으로 높은 전력이 요구된다. 따라서 PI는 최대 분해능과 적당한 에너지 소비량을 가진 PIOne 소형 센서를 자체 개발했다. PIOne 센서는 0.5μm의 작은 신호 주기와 최적화된 신호 처리 덕분에 분해능이 20피코미터 이상이다. 또한, 센서 헤드에 Mach-Zehnder 간섭계가 내장돼서 온도나 습도 따위의 환경 영향을 보상하므로 광 경로가 일정하다. PIOne 센서는 모든 PI컨트롤러와 호환되므로 여러 가지 드라이브 기술이 접목된 포지셔닝 시스템에 적용할 수 있다.

자료 제공: PI Korea(www.pi.ws)