Aerotech / 높은 성능의 단일 피벗 포인트 갈바노미터 스캐너

Aerotech의 AGV-SPO 단일 피벗 포인트 갈바노미터 스캐너는 중요한 레이저 마이크로 머시닝 응용 분야에서 더 넓은 시야와 감소된 스팟 왜곡을 가능하게 한다.
고유한 광학 설계는 X 혹은 Y 스캐너 동작에 빔 입구 동공을 효과적으로 제어해 스캐너 시스템의 유효 개구수(numerical aperture)를 증가시킨다. 이 디자인은 주어진 초점 거리에 대해 더 큰 FOV를 직접 가능하게 하고 전체 작업 영역에 걸쳐 스팟 왜곡을 줄인다. 이러한 장점을 통해 AGV-SPO는 더 큰 부품을 빠르고 일관성 있게 처리할 수 ​​있다.

AGV-SPO는 일반적으로 쓰이는 다양한 레이저 파장과 초점 거리를 지원하기 위해 여러 가지 광학 코팅이나 초점 광학 장치와 함께 쓸 수 있다. 맞춤형 광학이나 광학 장착 기능은 요청 시 제공된다. AGV-SPO는 공랭식 거울, 수랭식 모터 또는 둘 다와 같은 능동적인 냉각 기능으로 구성돼 레이저나 공격적인 모션 프로파일 때문에 생긴 열적 방해가 있을 때에도 작업 평면 정확도를 유지할 수 있다.

AGV-SPO는 Aerotech의 고급 동작과 PSO(Position Synchronized Output) 기능을 활용한다. 가속 제한과 같은 윤곽 지정 기능은 오버슛을 최소화하는 단단한 코너나 작은 반경의 속도를 자동으로 줄이기 위해 이용할 수 있다.

스캐너가 속도를 변경함에 따라 일관된 스팟 오버랩을 보장하기 위해 PSO로 미러의 위치 피드백을 바탕으로 레이저를 쏠 수 있다. Aerotech의 IFOV(Infinite Field of View) 기능은 서보나 스캐너 동작을 완벽히 결합해 서보 스테이지의 전체 이동 범위에서 스캐너의 마킹 기능을 확장한다. 이렇게 하면 이동-노출-반복 프로세스에서 발생할 수 있는 스티칭 오류가 제거된다.

자료 제공: Aerotech(www.Aerotech.com)