한국 텍트로닉스, 세미콘 코리아 2017 참가

한국 텍트로닉스가 지난 2월에 열린 ‘세미콘 코리아 2017’에 참가해 다양한 반도체 분야 관련 솔루션을 공개했다. 전시회에서 공개된 텍트로닉스의 솔루션 중 하나인 Keithley S540 전력 반도체 테스트 시스템은 최대 3kV의 전력 반도체 소자 및 반도체 구조의 웨이퍼 수준 테스트를 지원하는 완전 자동 48핀 파라미터 테스트 시스템이다. SiC(탄화 규소) 및 GaN(질화 갈륨)을 포함한 최신 화합물 전력 반도체 재료용으로 최적화된 완전 통합형 S540은 고전압, 저전압 및 커패시턴스 테스트를 한 번의 프로브 터치로 측정해낸다. 전력 반도체 소자에 대한 수요가 계속 증가하고 SiC와 GaN의 상용화가 확산됨에 따라 제조업체들은 수율을 최적화하고 수익성을 개선하기 위해 양산 공정에 웨이퍼 수준 테스트를 도입하고 있는데, 이 같은 애플리케이션을 위해 S540은 테스트 시간과 테스트 설정 시간, 점유 공간을 최소화시킴으로써 소유 비용을 낮춘 반면에 실험실 등급의 고전압 측정 성능을 구현한다.

텍트로닉스 Keithley 제품군의 총 책임자인 Mike Flaherty(마이크 플래어티)는 이와 관련해 “많은 제조 시설이 전력 반도체 테스트를 위해 맞춤형으로 제작된 하이브리드 테스트 시스템을 사용 중인데, 이 경우 저전압에서 고전압 테스트로 전환할 때 수동으로 테스트 설정을 변경해야 하는데, 이로 인해 공정 단계가 추가되고 결과적으로 생산 속도가 감소하게 된다”면서 “반면 S540은 수많은 소자를 신속하게 테스트해야 하는 생산 환경에 적합한 다양한 요소를 갖춘 완전 통합 솔루션”이라고 말했다. 또 다른 전시 제품이었던 Keithley 4200A-SCS 파라미터 분석기는 사용자에게 간단한 테스트 설정과 명확하고 정밀한 결과를 제공해 새로운 사용자 또는 일시적인 사용을 원하는 고객이 복잡한 특성을 파악하는 데에 할애하는 시간을 감소시킨다.

Keithley 4200-SCS 파라미터 분석기의 성공에 기반을 두고 있는 신규 4200A-SCS 장비는 현대적 산업 디자인과 새로운 그래픽 사용자 인터페이스를 갖추었고, 전문가 교육 영상과 같이 자가 학습이 가능한 다양한 도구를 제공한다. 텍트로닉스가 측정이 다양해지고, 반도체 연구의 복잡성이 가중되고 있는 시장 환경의 요구에 맞춰 출시한 Keithley 4200A-CVIV 4채널 IV/CV 스위치 모듈은 4200A-SCS 메인 프레임에 적용되는 모듈로, I-V(SMU)와 C-V(커패시턴스-전압) 측정 사이에서 On-the-fly 스위칭을 제공해 사용자가 프로버 니들이나 이동 케이블을 움직이지 않고도 C-V 측정을 다른 장치 단자로 이동시킬 수 있도록 지원한다. 4200A-SCS에는 새로운 고화질 와이드스크린 디스플레이가 장착되어 있는데, 이로 인해 사용자는 테스트와 실험 상호 작용을 위한 넓은 화면 면적을 활용할 수 있다.

또한 4200A-SCS는 대체 장비와 마찬가지로 전체 통합식 모듈형 파라미터 분석기를 통해 소재, 반도체 장치, 공정의 전기적 특성을 뒷받침하며, I-V 특성화를 위한 소스 측정 장치, AC 임피던스 측정용 커패시턴스-전압 모듈, 펄스 I-V와 파형 포착 및 트랜젠트 I-V 측정이 가능한 초고속 펄스 측정 장치로 구성되어 있기 때문에 재료 연구, 반도체 장치 설계, 개발 또는 생산 영역에서 연구자와 기술자에게 필요한 핵심 파라미터를 제공할 수 있다.