세미콘 코리아 2017 주요 참가 업체 취재기

다이헨 한국

다이헨 한국은 전력, 용접, 반도체 관련 기기를 생산하는 글로벌 기업인 다이헨의 한국 지사로, 2002년에 국내 반도체 시장 공략을 위해 설립되었다. 다이헨 한국은 설립 이래 꾸준히 웨이퍼 반송용 로봇과 FPD용 로봇을 반도체 제조 현장에 공급해 왔으며 이번 전시회에서는 반도체 공정에서 웨이퍼를 반송하는 데에 쓰이는 로봇인 ‘UTW-RM5700, UTM-R3700F, UTV-DD4000’을 선보였다. UTW-RM5700에는 제품 외부에 1개의 케이블만을 연결시키는 다이헨의 독자적인 기술이 적용되었는데, 이 외부 케이블은 전력 관리와 제어를 통합 수행한다.

UTW-RM5700의 외부뿐만 아니라 제품 내부에 설치되는 케이블 또한 간소화되었는데, 기존 제품에 비해 케이블의 개수가 5분의 1로 줄어들었다. 제품에 적용되는 케이블 수의 감소로 인해 케이블 파손 위험이 감소되었으며, 소음 역시 줄어들었다. 한편, UTW-RM5700은 고객 맞춤형 제작이 가능한 모듈형 제품이어서 사용자의 제품 구입 비용 감소에 긍정적인 영향을 미친다. UTM-R3700F는 상하로 최대 1.6m까지, 좌우로는 최대 2.7m까지 움직일 수 있는 웨이퍼 반송용 로봇으로, 슬라이드 축 없이 4 FOUP에 이르는 반송을 수행할 수 있다.

이 같은 특성은 레일 비용 감소와 레일로 인해 발생하는 진동, 소음, 먼지 등을 방지하는 효과를 발생시킨다. UTV-DD4000은 DD 모터를 내장하고 있으며, 이 모터와 직접 연결되어 있다. 다이헨은 UTV-DD4000에 스틸 벨트를 적용시켰는데, 이로 인해 로봇의 링크 암 두께가 최소화되었다. 링크 암의 두께가 최소화되면서 로봇을 담는 챔버를 제작하는 데에 있어서 고객의 편의성이 증대되었다.

한편, UTV-DD4000의 내부에는 컨트롤러가 내장되어 있는데, 이 같은 구조는 제품의 공간 활용 측면성을 효율성을 제고시킨다.

레니쇼 코리아

다양한 인코더를 제조하는 레니쇼의 한국 지사인 레니쇼 코리아는 이번 전시회에 광학식 인코더와 자기식 인코더 등을 출품했다. 레니쇼 코리아가 공개한 광학식 인코더는 ▲ TONiC™ ▲ VIONiC™ ▲ RESOLUTE™ ▲ ATOM™으로 구성되었는데, 이 같은 광학식 인코더는 FPD/반도체 제조 현장에서 주로 활용될 뿐만 아니라 산업용 로봇, 의료 장비 등에도 적용 가능하다.

광학식 인코더는 ±3㎛의 스케일 정확성을 보유하고 있으며, 4개의 제품으로 이뤄져 있어 사용자에게 작업장의 환경에 맞는 제품을 선택할 수 있는 선택 가능성을 제공한다. 자기식 인코더의 경우, ▲ LM10/13 ▲ AksIM™ ▲ ROLin™ ▲ LA11로 이뤄져 있는데, 주로 다관절 로봇 등과 같은 산업용 로봇에 적용된다. 자기식 인코더는 IP67 등급을 취득했기 때문에 분진이 많이 발생하는 환경에서도 활용 가능하다.

보쉬렉스로스코리아

중장비, 공장 자동화, 산업 기계 산업 관련 솔루션을 제공하는 보쉬렉스로스의 한국 지사인 보쉬렉스로스코리아는 ‘사람 중심의 솔루션’을 선보이겠다는 모토 하에 이번 전시회에 참가했다. 보쉬렉스로스코리아는 주요 전시회 출품 제품으로 ▲ LMS 리니어 모션 시스템 ▲ 20 나노급 갠트리 시스템 ▲ 방폭형 서보 모터 MKE Series ▲ 서보 모터 MS2N Series ▲ 코어리스 모터 MCL Series를 참관객들에게 선보였다. LMS 리니어 모션 시스템은 반전된 리니어 모터의 원리가 적용된 솔루션으로, 고온, 고진공, 화학 가스가 존재하는 환경 및 현장에서도 활용 가능하다.

이 같은 LMS 리니어 모션 시스템은 케이블 없이 캐리어 반송을 수행하며, 홀 센서를 통해 비접촉 캐리어의 위치를 파악한다. 또한 이 시스템은 리니어 트랙과 타원형 트랙 등과 같은 트랙을 구성할 수 있다. 20 나노급 갠트리 시스템은 반도체/IT 관련 제품 제조 현장과 소형 부품 검사 애플리케이션에 적용되는 솔루션이다.

이 시스템은 MIMO(Muitl Input Multi Output) 갠트리 컨트롤을 지원하는 모션 컨트롤러를 통해 모션과 액티브 아이솔레이터까지 제어하며, 외부 진동 제어 솔루션과 함께 Anti-vibration 기술을 구현한다. MKE Series는 방폭형 서보 모터인데, 주로 배터리 제조 현장과 자동차 도장 및 용접 작업에 적용된다. MKE Series는 국내에서 KCs 인증을 획득함으로써 제품의 방폭성을 인정받았다.

MS2N Series는 새로운 디자인이 적용된 서보 모터로, 스피드 콘을 통해 케이블을 쉽게 장착할 수 있는 방식을 갖춘 커넥터를 사용함으로써 고객의 편의성을 높였으며, 같은 크기 대비 기존 모터보다 속도는 조금 낮지만 더 큰 토크를 발생시킬 수 있다.

또한 MS2N Series에는 모터 파워와 인코더 케이블이 통합된 구조가 적용되었는데, 이는 케이블 간소화를 구현해 사용자의 편의성을 증가시킨다. MCL Series는 코일 부분인 MCP와 마그넷 부분인 MCS를 포함한 모터 키트로 제공되는 코어리스 리니어 모터이다. MCL Series는 제품군에 속한 제품의 길이와 크기에 따라 최소 36N에서 최대 3,320N에 이르는 추력과 최대 23m/sec에 이르는 속도를 발생시킨다.

또한 MCL Series는 여러 마운팅을 수행할 수 있도록 구성되어 있으며, 사용자의 장비에 장착된 후 선택적인 홀 센서 유닛과 프로파일 레일 시스템, 레일 통합형 계측 시스템 등으로 통합될 수 있다. 지금까지 설명한 제품들 외에도 보쉬렉스코리아는 ▲ 프로파일 레일 시스템 ▲ 레일&인코더 통합형 계측 시스템 등을 전시했다.

산요전기코리아

쿨링 시스템, 파워 시스템, 서보 시스템 관련 제품을 제조하는 산요 전기의 한국 지사인 산요전기코리아는 ▲ 고·저온 팬 San Ace 60T, San Ace 120T ▲ 장수명 팬 San Ace 60W, San Ace 92W ▲ 컨트롤러 SANMOTION C를 선보였다. San Ace 60T와 120T로 이뤄진 고·저온 팬은 주로 LED 광원, 프로젝터, 전광판 등에 적용되는 제품으로, 일반 팬이 -20℃~70℃의 사용 온도를 보유하고 있는 데 비해 -40℃~85℃의 사용 온도 범위를 갖추고 있다.

장수명 팬은 San Ace 60W, San Ace 92W로 구성되어 있는데, 주로 반도체 제조용 장비에 적용된다. 산요의 장수명 팬은 20년의 긴 제품 수명을 갖추고 있어 사용자에게 높은 유지보수성을 제공할 수 있으며, IP68 등급을 충족시킨 방수 및 방진 기능을 보유하고 있다.

이외에도 산요전기코리아는 컨트롤러 SANMOTION C와 모터, 드라이브를 통합해 만든 병렬 로봇을 공개했는데, 이 로봇에 적용된 비전 카메라와 터치 패널이 시각적 효과를 극대화시킨다.

한편, 로봇에 적용된 SANMOTION C는 포장 및 제어 분야에서 주로 활용되며, 로봇 제어, 모션 제어, 시퀀스 제어 기능을 보유하고 있다.

삼익THK

LM 시스템과 메카트로 시스템 관련 제품을 전문적으로 제조하는 삼익THK는 이번 전시회에 ▲ 웨이퍼 트랜스퍼 로봇 ▲ 철심형 리니어 모터 CDM 등을 출품했다. 웨이퍼 트랜스퍼 로봇은 반도체 제조 현장에서 활용되는 로봇으로, 클린룸에 적용 가능한데, 직교 로봇보다 크기가 작기 때문에 반도체 제조 현장에서 공간 효율성을 높일 수 있다.

철심형 리니어 모터인 CDM 역시 웨이퍼 트랜스퍼 로봇과 마찬가지로 반도체 제조 현장에서 활용 가능한 제품이다. CDM의 모듈은 ‘CDM05, CDM10, CDM15, CDM20, CDM30’으로 구성되어 있는데, 각 모듈은 일반적으로 3m/s의 최고 속도와 ±1㎛의 반복 위치 정밀도를 갖추고 있다.

씨크 코리아

산업용 센서, 안전 센서, 인코더 등을 전문 제조하는 씨크의 한국 지사인 씨크 코리아는 안전 시스템인 Flexi Loop와 3D 비전 센서인 TriSpector1000 등을 공개했다. Flexi Loop는 전자 제품과 자동차 제품 제조 과정에 쓰이는 안전 시스템으로, 시스템에 적용된 노드를 통해 시리얼 연결을 수행하는데, 이 때 노드 간의 거리는 1km까지 연장 가능하다.

한편, Flexi Loop는 증설형으로 설계되어 있어 설치가 간편하며, 시스템 고장 발생 시 문제가 되는 부분만 수리하면 되는 구조를 갖추고 있어 유지보수의 간편성을 높일 수 있다. 사용자는 이 같은 Flexi Loop에 있는 루프 1개에 32개의 센서를 연결할 수 있다. TriSpector1000은 지난해 하반기에 출시된 All-In-One 유형의 3D 비전 센서로, 제약품과 식료품 검사에 적용된다. TriSpector1000은 제품의 기존 이미지와 현재의 이미지를 3D로 비교해 이상 여부를 검사하며, 씨크가 자체 개발한 검사 및 측정용 소프트웨어인 SOPAS를 갖추고 있다.

사용자는 SOPAS를 통해 TriSpector1000의 검사 및 측정에 필요한 준비 작업을 간편하게 마칠 수 있다.

애니모션텍

스테이지, 나노 포지셔너, 액추에이터, 모션 컨트롤러를 전문적으로 제조하는 에어로텍의 국내 독점 대리점인 애니모션텍은 에어 베어링 스테이지 ABL1000 등을 전시했다. ABL1000은 정렬과 조립에서 높은 성과를 달성하기 위해 설계된 소형 에어 베어링 스테이지로, 시험 및 측정 분야(웨이퍼 검사, 리소그래피 응용) 등에서 활용된다.

이와 같은 ABL1000은 비접촉으로 설계되었으며, 저소음 리니어 증폭기를 내장하고 있다. 또한 ABL1000은 리니어 인코더 피드백을 통해 사용자에게 2nm의 분해능을 제공한다.

와고 코리아

와고 코리아는 단자대 TOBJOB과 WAGO I/O 750 시스템 등을 참관객들에게 선보였는데, TOBJOB은 와고의 인터커넥션 부문에 속한 제품인 반면, WAGO I/O 750 시스템은 자동화 부문의 제품에 포함되어 있다. TOBJOB은 반도체 제조 공정뿐만 아니라 공장 프로세스에도 적용 가능한 단자대로, Push-In 유형의 제품이다. TOBJOB은 Push-In 방식으로 인해 진동에 대한 강한 내구성을 갖추고 있으며, 사용자가 단자대에 커넥터를 연결했을 때 강한 결선을 구현한다.

WAGO I/O 750 시스템도 TOBJOB과 마찬가지로 Push-In 유형의 제품인데, 이 때문에 WAGO I/O 750 시스템 역시 진동에 강한 내구성을 갖추고 있다.

또한 WAGO I/O 750 시스템은 ▲ CC-Link ▲ CANopen ▲ EtherCAT ▲ PROFIBUS ▲ PROFINET 등과 같은 다양한 통신 모듈을 지원하며, 반도체 제조 공정과 자동차 제조 분야, 철도·선박·에너지 분야 등에 적용 가능하다.

인아오리엔탈모터

인아오리엔탈모터는 전시회에서 다양한 모터를 선보였는데, 이중 스텝 모터인 AZ Series를 적극적으로 홍보했다. AZ Series는 반도체/디스플레이 제조업체에서 주로 활용되는 제품으로, 오리엔탈 모터가 자체 개발한 ABZO 센서를 내장하고 있다. 이 때문에 AZ Series는 배터리 및 추가적인 센서를 필요로 하지 않으며, 기계식으로 위치를 기억한다.

이는 AZ Series가 복귀를 한번에 수행할 수 있도록 지원할 뿐만 아니라 전원이 갑작스럽게 꺼지더라도 위치를 잊지 않고 기억할 수 있도록 돕는다.

인아코포

인아코포는 테이프 프레임 반송 로봇, PLP 이송 로봇 등과 같은 로봇 제품을 선보여 참관객들의 관심을 끌었다. 테이프 프레임 반송 로봇은 반도체 후공정에 쓰이는 로봇으로, 프레임을 흡착시키는 타사 로봇들과는 달리 클립으로 링 프레임을 고정해 적재를 수행하는데, 이와 같은 방식을 통해 공간을 효율적으로 활용한다.

PLP 이송 로봇 역시 테이프 프레임 반송 로봇과 함께 반도체 후공정에서 활용되는 로봇이다.

이 로봇은 최근 진행 중인 한국의 사각 웨이퍼 개발에 대응하기 위해 제작된 제품으로, 척에 장착된 센서를 통해 사각의 형태로 이뤄진 물체를 정렬시킨다.

투식스 코리아

CO2 레이저 부품, 광전 부품, 레이저 가공 헤드, SiC(실리콘 카바이드) 웨이퍼, 특수 소재, 초정밀 광학 모듈 등을 생산해 자동차, 전자, 통신, 우주, 항공 산업 등에 제공하는 투식스의 한국 지사인 투식스 코리아는 SiC 포러스 척과 웨이퍼 핸들링 암을 선보였다. SiC 포러스 척은 웨이퍼 측정 및 가공 장비에 적용되는 제품으로, 제품의 무게가 알루미나의 약 40%밖에 되지 않는다.

또한 SiC 포러스 척은 실리콘 웨이퍼에 대등한 열평창 계수를 지니고 있기 때문에 2μ 이내의 평탄도를 유지할 수 있다. 한편, 투식스 코리아가 공개한 또 다른 제품인 웨이퍼 핸들링 암은 에어 베어링 빔 및 스테이지 베이스 재료로 제작된 것인데, 이는 곧 에어 베어링 빔 및 스테이지 베이스 재료를 통한 다양한 형태의 제품 제작이 가능함을 의미한다.

이와 같은 에어 베어링 빔 및 스테이지 베이스 재료는 SiC 포러스 척처럼 웨이퍼 측정 및 가공 장비에 적용되며, 알루미늄과 동일한 무게를 갖추고 있다. 또한 이 재료는 기본적으로 알루미늄이 보유하고 있는 열팽창 계수의 30%에 이르는 열팽창 계수를 갖추고 있어 온도가 변해도 제품 정밀도를 유지할 수 있다.

파카 코리아

파카 코리아는 이번 전시회에 ▲ MX80 ▲ ETH Series ▲ 피에조 밸브 등을 주요 제품으로 출품했다. MX80은 리니어 미니어쳐 스테이지로, 의약품 검사 분야와 검사 장비 등에서 활용되는 제품이다. MX80은 제품에 내장되어 있는 비전 카메라를 통해 검사를 진행하며, 제품의 정밀도 등급이 나눠져 있어 사용자가 제품을 조절할 수 있다.

ETH Series는 로드 유형 전동 실린더로, LCD/OLED 제조 공정에서 챔버를 개폐하는 데에 적용된다.

이 같은 ETH Series는 32/50/80/100/125 사이즈로 구성되어 있는데, 이 중 32, 50, 80 사이즈에는 파카만의 독자적인 기술이 적용되었다. 다섯 가지 사이즈로 이뤄진 제품들은 각각 2400~3700, 4400~9300, 10600~25100, 54800~56000, 88700~114000의 추력을 발휘한다. 또한 ETH Series는 기본적으로 소형 제품이어서 사용자가 속해 있는 현장에서 공간 효율성을 제고시킨다. 피에조 밸브는 국내에서는 연말에 출시될 예정인 제품인데, 주로 반도체/전자 제품 제조 환경에서 활용될 전망이다. 이 제품은 1ms 이하의 개폐 시간을 갖추고 있으며, 제품의 피에조 물질에 가해지는 전기를 통해 밸브를 개폐시킨다.

프레스토 솔루션

반도체/FPD 제조 등에 활용되는 모션 제어, 액티브 제진대, EtherCAT 관련 제품을 취급하는 프레스토 솔루션은 ACS MotionControl의 제품인 MC4U와 IDE World의 제품인 ATAN을 선보였다. ACS의 MC4U는 컨트롤러와 드라이버가 결합된 모션 컨트롤러로, LCD, OLED, 반도체 제조 현장에 적용 가능하다.

이 같은 MC4U는 수십 나노에서 서브 나노급에 이르는 제어 성능을 갖추고 있으며, 1A~100A(최대 전류량 기준)의 다양한 드라이브 용량을 지원하는 동시에 다양한 인코더 피드백을 통해 모터 제어를 수행한다. IDE의 ATAN은 액티브 아이솔레이터로, FPD 및 반도체 제조 현장과 정밀 장비에 적용 가능하며, 바닥으로부터 전달되는 외란을 차단하는 동시에 설비 자체 모션에 의해 발생하는 내부 진동을 미리 감지해 진동을 상쇄시킨다.

또한 ATAN은 공압 방식 및 리니어 모터 방식을 병행하기 때문에 현장에서 빠른 응답성을 구현할 수 있다.

하이덴하인코리아

인코더와 CNC 컨트롤 솔루션, 측정 장비를 제조하는 하이덴하인의 한국 지사인 하이덴하인코리아는 리니어 스케일과 앱솔루트 스케일 등을 선보였다. 리니어 스케일은 디스플레이 장비 부품을 제조하는 현장에서 활용되는 장비로, 하이덴하인이 독자적으로 만든 신호 프로세스인 HSP를 내장하고 있는데, HSP는 제품 오염이 발생했을 때 오염을 탐지해 에러가 출력되는 현상을 사전에 방지한다.

한편, 리니어 스케일에 적용된 로박스 재질은 주위 온도 변화로부터 제품이 영향을 받지 않도록 보호하는데, 이는 제품이 정밀도를 유지할 수 있도록 지원하는 역할을 수행한다. 앱솔루트 스케일의 경우, 반도체 제품과 디스플레이 장비를 제조하는 현장에 적용되는데, 일반적인 스케일 제품이 전원 OFF 시 장비의 기준점을 잃어버리는 반면에 앱솔루트 스케일은 전원이 꺼져도 기준점을 기억한다.

또한 앱솔루트 스케일은 고객 맞춤 제작이 가능해 사용자가 제품을 적용할 현장에 맞게 조정할 수 있다.

한국가와사키로보틱스

한국가와사키로보틱스는 참관객들에게 주력 제품 중 하나인 협업 로봇 duAro를 전시해 보여주었다. duAro는 식품/전자 제품/자동차 제품/PCB 제조에 활용 가능한 스카라 로봇으로, 펜스를 설치하지 않고도 사용 가능하다.

duAro는 기본적으로 몸통 하나에 두 개의 암을 갖추고 있는데, 이 때문에 한 개의 암을 갖춘 로봇보다 더 넓은 동작 영역을 보유하고 있으며, 제품 밑에 바퀴가 달려 있어 작업자가 제품을 간편하게 옮길 수 있다. 뿐만 아니라 duAro는 220V의 전압을 통한 구동이 가능하기 때문에 복잡한 과정 없이 제조 현장에 즉각 적용 가능하다.

한국야스카와전기

한국야스카와전기는 주력 제품으로 ▲ ∑-7C ▲ GA700 등을 선보였는데, 이 제품들의 주요 특성은 다음과 같다. ∑-7C는 머신 컨트롤러로, 주로 고무 커팅 공장에서 활용되는 플라잉 쉐어와 로터리 커터 등에 적용되어 2축 제어를 수행한다.

또한 ∑-7C는 기본적으로 Ethernet 포트와 디지털 I/O를 갖추고 있으며, 모션 컨트롤러와 서보 드라이브가 통합 적용된 구조를 갖추고 있어 모션 제어를 수행 가능하다. 만약 사용자가 동일한 시스템을 구성할 때 ∑-7C를 적용한다면, 다른 야스카와의 제품보다 약 20% 저렴한 가격으로 시스템을 구성할 수 있다. GA700은 2018년 3월에 출시될 예정인 인버터로, 현재는 테스트만 가능한데, 산업용 컴프레서/터보 블로워/프레스 제조업체에 적용 가능하다.

GA700은 ipm 동기 모터를 튜닝 없이 제어하는 동시에 인코더 없이 토크를 제어하는데, 이를 통해 ipm 동기 모터 제어에서 효율성을 7% 상승시킨다. 또한 GA700은 DC 24V의 제어 전원을 내장하고 있어 전원이 갑자기 꺼져도 PLC에 전원을 공급할 수 있으며, 사용자의 경우 블루투스를 연결해 GA700의 파라미터를 백업할 수 있어 모바일을 통한 파라미터 관리를 원활히 진행할 수 있다.

한국훼스토

한국훼스토의 주요 전시 제품으로는 ▲ VEAA/VEAB ▲ Industry 4.0 기반 스마트 팩토리 ▲ YJKP를 들 수 있다. VEAA/VEAB는 올해 5월에 출시될 예정인 피에조 밸브인데, PID 제어와 고정밀/고속 이동 애플리케이션에서 활용 가능하다.

이 같은 VEAA/VEAB는 토크를 제어할 수 있으며, 피에조 소자를 내장하고 있어 반영구적인 수명을 갖추고 있다. Industry 4.0 기반 스마트 팩토리는 전반적인 제조 공장에 적용 가능한 솔루션으로, 전 제조 과정을 총괄한다. 이와 같은 요소는 이 솔루션으로 인해 사람의 개입이 줄어든다는 것을 의미하는데, 이는 인력에 드는 비용을 최소화시키는 효과를 발생시킨다.

YJKP는 서보 프레스로, 전자 제품과 반도체를 제조하는 현장에서 사용 가능하며, 구동부와 구동 프로그램, 제어기가 통합된 구조로 설계되었다.

이로 인해 사용자는 제품 설치에 드는 시간과 제품 설치에 필요한 공간을 절약할 수 있게 되었는데, 추가적으로 사용자는 이 제품을 훼스토의 또 다른 솔루션인 Industry 4.0 기반 스마트 팩토리와 연동시켜 활용할 수 있다.

한영넉스

자동 제어 및 계측기기 전문 제조업체인 한영넉스는 자사의 전력 조정기인 TPR Series와 온·습도/열 충격 시험 컨트롤러인 TH510/TS510을 공개했다. TPR Series는 반도체 제조 현장에서 활용 가능한 제품으로, 온도가 60℃ 이상에 이를 경우 알람을 울려 사용자에게 이를 알리고, 온도가 80℃를 넘을 시에는 진행 중이던 작업을 중단시켜 과열로 인해 생길 수 있는 손실을 사전에 방지한다.

이 같은 TPR Series는 국산화 제품이기 때문에 사용자의 제품 구매 가격에 대한 부담 감소에 일정 부분 기여할 수 있다. 또 다른 제품인 TH510과 TS510은 반도체 후공정 장비에 적용되어 반도체 소자의 온도를 제어하는데, 온도와 습도를 0.1%까지 정밀 제어한다. 이 두 제품 역시 국산화 제품이어서 사용자의 제품 구매 부담을 줄이는 데 기여할 수 있다.

ABB 코리아

ABB 코리아는 주력 제품으로 ▲ 저압 모터용 스마트 센서 ▲ ACS880 ▲ LGR-ICOS 927S 등을 공개했다. 저압 모터용 스마트 센서는 산업계 전반에 활용 가능한 제품으로, 방폭형과 비방폭형으로 나뉘어져 있으며, ABB의 기존 모터에 부착해 활용 가능하다.

이 같은 저압 모터용 스마트 센서는 모터 상태를 파악한 후 모바일, PC를 통해 사용자에게 이를 전달하는데, 이 방식은 모터의 유지보수 편의성을 증가시킨다. 한편, ABB는 현재 타사 모터에도 적용 가능한 스마트 센서를 개발 중에 있다. 인버터인 ACS880은 주요 필드버스 프로토콜을 활용하는 인터페이스 및 원격 제어 솔루션으로, 다양한 AC 모터를 제어하며 산업계 전반에 적용 가능하다.

사용자는 ACS880에 적용된 ABB의 DTC(Direct Torque Control) 기술을 통해 AC 모터의 속도와 토크를 정밀 제어할 수 있다. 또한 ACS880은 드라이브 대 드라이브 연결이 가능해 다른 하드웨어를 추가하는 것 없이 드라이브 간의 커뮤니케이션을 수행해 설정을 빠르게 진행한다. 추가적으로 ACS880은 기존 모델인 ACS800과 같거나 더 작은 크기로 구성되어 있어 사용자가 기존 모델을 새로운 제품으로 교체하는 것이 보다 수월해졌다. LGR-ICOS 927S는 반도체, FPD 등과 같이 정밀 측정이 필요한 산업 현장에서 발생하는 가스를 분석하는 레이저 가스 분석기다.

LGR-ICOS 927S는 1초에 50ppm의 H₂O를 측정할 뿐만 아니라 1초에 1.5ppb에 이르는 NH₃, 0.4ppb의 HCI, 0.1ppb의 HF 가스를 측정한다. 이 같은 LGR-ICOS 927S에는 Off-Axis ICOS 기술이 적용되어 있는데, 이 기술로 인해 사용자는 제품에 초정밀 최적화 조절 기능을 적용할 필요가 없으며, 현장에서 20분 이내로 미러를 세척하거나 교체할 수 있어 제품 유지보수에 드는 시간을 절약할 수 있다.

M2I

산업용 터치형 표시 조작기 전문 제조업체인 M2I는 자사의 산업용 PC, 터치패널, 티치 팬던트를 중점적으로 선보였다. 산업용 PC인 TOP-PPC는 제조 장비 관리에 적합한 15인치 제품으로, SCADA 프로그램을 내장하고 있다.

또한 TOP-PPC는 Windows Embedded 7을 활용하며, SSD와 8GB RAM을 장착 가능한 최고 사양과 8GB RAM과 64GB EMM을 장착 가능한 최저 사양을 갖추고 있다. 터치패널인 TOPR은 자동차 제조 현장에서 쓰이는 산업용 로봇에 적용되는데, 기본적으로 15인치로 설계되었다.

이 같은 TOPR은 표준형과 프리미엄형으로 구성되어 있는데, 두 유형 모두 내장/외장 카메라와 HDMI 적용이 가능하다. 또한 이 두 유형은 별도의 프로세스부를 갖추고 있으며, 쿼드코어 CPU와 4GB의 컬러를 보유하고 있다. 이 밖에도 TOPR의 표준/프리미엄 유형 모두 3중 터치가 가능하며, 전면 액정 파손 발생 시 액정만 교체해도 되는 구조를 갖추고 있다. 또 다른 터치패널인 TOP-RX는 자동차, 반도체, 사출기 제조 환경에서 쓰이는 제품으로, 5/8/10/12/15인치로 구성되어 있다. 이러한 TOP-RX는 쿼드코어 CPU와 4GB에 이르는 컬러및 RAM과 함께 전반적으로 TOPR과 같은 성능을 갖추고 있다.

티치 팬던트인 TOPRH Series는 자동차 제조 현장 등과 같은 제조 환경에 배치된 로봇을 제어하는 데에 쓰이며, 유/무선형으로 구성되어 있다.

유선형인 TOPRH0700WD는 7인치 화면과 1024×768의 해상도를 갖추고 있으며, 긴급 사용 시 사용자의 스위치 사용이 가능하도록 설계되었다. 또한 TOPRH0700WD에는 Function 키와 쿼드코어 CPU가 적용되었으며, 사용자에게 2포트 시리얼을 지원한다. 한편, 무선형인 TOPRH0700WD-W의 경우, PLC와 연결되어 있는 공유기를 통한 제어를 수행하며, 방수 등급 IP65를 충족시켰다. 추가적으로 TOPRH0700WD-W에는 67000mAh의 배터리가 적용되는데, 이로 인해 사용자는 TOPRH0700WD-W를 최대 5시간 동안 연속적으로 사용할 수 있다.

PI Korea

PI Korea는 Hexapod 시스템 중 하나인 Hexapod H-811과 피에조 액추에이터를 중점적으로 선보였다. Hexapod H-811은 카메라 애플리케이션에 적용되어 사용자의 손 떨림 현상을 예방하는 데에 쓰이는데, 평형 이동으로 원하는 위치까지 한번에 이동하며, 최대 6축까지 이르는 움직임을 수행할 수 있다.

또한 Hexapod H-811은 회전축에서 0.1°의 거리를 20Hz의 속도로 반복 시뮬레이션할 수 있으며, 제품에 적용된 Flexure joint 디자인을 통해 회전이나 마찰을 일으킬 수 있는 요소를 제거해 수백 mm/s의 속도와 4g의 가속을 수행한다. 피에조 액추에이터는 단자 측정 영역과 검사 장비에서 활용되는데, 수만 N에 이르는 블록킹 추력을 갖추고 있어 고속 정밀 제어를 수행 가능하다.

SBB 테크

베어링과 로봇 감속기를 전문적으로 제조하는 업체인 SBB 테크는 로봇 엔지니어들의 원활한 협업 로봇 제작을 도울 수 있는 협업 로봇 전용 모듈인 MR 액추에이터를 선보였다. MR 액추에이터는 ‘Module Robot 액추에이터’의 약자로, 로드/언로드, 제품 조립 공정 등에 적용 가능한 제품이다.

사용자는 MR 액추에이터의 세부 제품을 선택한 후 이를 조립해 사용할 수 있을 뿐만 아니라 완성된 로봇 형태로도 공급받을 수 있다. 또한 MR 액추에이터는 SBB 테크가 자체 제작한 감속기와 모터, 브레이크, 인코더, 드라이브를 내장하고 있어서 제품 구매에 드는 비용을 감소시키는 효과를 낼 수 있다. 추가적으로 MR 액추에이터에는 케이블 단순화 및 경량, 박형의 디자인 등과 같은 특성이 적용되었다.

SBC 리니어

SBC 리니어는 전시회에서 LM 가이드와 볼 스크류 등을 중심으로 한 자사의 주력 상품을 선보였다. SBC 리니어의 LM 가이드는 반도체 장비 후공정과 반도체 물류 이송, 공작기계 제조에 쓰이는 제품인데, 제품 국산화로 인해 제품의 빠른 납기와 제품에 대한 긴급 대응이 가능하다.

또한 LM 가이드는 4열 고딕 아크 구조로 설계되어 고강성을 보유하고 있으며, 순환 시에 낮은 소음을 유지한다.

B&R

산업용 PC와 모니터, 컨트롤 시스템, 모션 컨트롤 관련 솔루션 등을 전문적으로 제공하는 B&R은 자사의 신기술인 mapp 솔루션과 함께 ACOPOS P3, OPC UA를 활용한 클러스터 툴 등을 공개했다. mapp 솔루션은 Drag&Drop 방식을 통해 프로그래밍에 드는 시간을 감소시켜 개발 시간의 67%를 줄이는 데 성공한 mapp 기술을 활용한 솔루션으로, ▲ 스카라 로봇 ▲ 델타 로봇 ▲ CNC 컨트롤러 등에 적용 가능하다.

B&R은 이 솔루션을 2년 전인 2015년부터 제공하고 있는 중인데, 기본적으로 mapp은 소스 코드를 최대 83%까지 감소시킨다. ACOPOS P3는 B&R의 대표적인 서보 드라이브로, 반도체, 식품 제조 현장 등에서 활용 가능하다.

이 중에서 ACOPOS P3는 클린룸을 만들어야 하는 반도체 제조 분야에 적합한데, 이는 ACOPOS P3 한 대가 3개의 모터를 제어해 최대 69%의 작업 공간을 절약할 수 있기 때문에 가능하다. 한편, 일반적으로 모터 1개에 인코더와 파워 케이블 한 개씩을 연결하는데 반해 ACOPOS P3는 케이블 하나로 인코더와 파워를 대체할 수 있어 사용자의 편의성을 증가시키는 동시에 배선을 효율적으로 감소시킨다. OPC UA를 활용한 클러스터 툴은 반도체 웨이퍼 제조 공정에 특화되어 있는 통합 솔루션으로, 사용자는 이 솔루션을 통해 반도체 제조 공정상에서 효율적인 Process module 제어 및 스케줄러 제어를 수행할 수 있다.

Interview

한편, 본지는 세미콘 코리아 2017에 참가한 B&R의 유지훈 차장과 인터뷰를 진행했는데, 본지와 유 차장이 주고받은 문답은 다음과 같다.

Q. B&R이 세미콘 코리아 2017에 참가한 이유는 무엇인가?

A. B&R이 반도체 분야 시장에서 가지고 있는 영향력을 강화하기 위해 이번 전시회에 참가하게 되었는데, B&R은 전시회 참가를 위해 2년 전부터 반도체 분야에서 풍부한 경험을 쌓아 온 엔지니어들과의 커뮤니케이션을 강화해 왔다. B&R은 계속해서 세미콘 전시회에 참가할 계획이며, 현재 대만·일본·싱가폴·중국에 있는 B&R의 지사들도 반도체 분야로의 진출을 준비하고 있다.

Q. B&R이 반도체 분야에서 가지고 있는 장점이 무엇이라고 생각하는가?

A. B&R의 제품이 ‘멀티존 오토 튜닝을 통한 멀티존 온도 제어’와 같이 반도체 분야에 필요한 온도 제어 부문에서 높은 경쟁력을 보유하고 있다고 평가받고 있는데, 이 점이 곧, B&R이 반도체 분야에서 보유하고 있는 강점이다. 또한 B&R은 파트너사와의 공고한 커뮤니케이션 관계를 구축해 CTC 솔루션을 제공하고 있는데, 이 역시 B&R이 반도체 분야에서 높은 경쟁력을 유지할 수 있도록 돕는 주요 요소이다.

Q. B&R의 mapp 기술이란 무엇이며, 반도체 분야에서는 어떻게 활용되고 있는가?

A. mapp 기술은 ‘Modular Application’의 약자로, B&R의 주요 고객인 장비 제조사를 위해 개발된 기술이다. 좀 더 자세히 말하면 장비 제조사들이 만드는 장비가 갖춰야 할 기본적인 기능이 있는데, 제조사들이 이 기능을 개발하는 데에 많은 시간을 소비하면서 핵심 기능을 개발하는 데에는 많은 시간을 투자하지 못하게 되었다. 이 때문에 B&R은 장비 제조사들이 기본적인 기능 개발에 시간을 덜 투자하고, 이를 통해 절약한 시간을 핵심 기능 개발에 투입할 수 있도록 지원하기 위해 mapp 기술을 개발하게 되었다. 이태리에 있는 연구 단체인 LIAM Lab의 연구 결과에 의하면, mapp 기술은 장비 개발 기간을 67% 감소시킨다.

만약 반도체 분야에서 이 같은 mapp 기술이 활용된다면, mapp이 적용된 하나의 펑션 블록만으로 반도체 분야에서 활용되는 로봇과 온도 및 PID 등을 제어할 수 있는데, 이 때 사용자는 복잡한 프로그램 없이 Drag&Drop을 이용한 펑션 블록의 배치 및 설정만으로도 고난이도의 기능들을 구현해 개발 기간을 단축시키고 사용자 편의성을 높일 수 있다. 이와 같은 장점을 mapp의 기본 표어인 ‘Configure more, program less’가 구체적으로 증명하고 있다고 생각한다.