산업용 로봇 기업 ‘로봇앤드디자인’, 반도체 정렬장치 국산화 성공

산업용 로봇 전문기업인 로봇앤드디자인이 경기도의 지원을 받아 반도체용 ‘투명 웨이퍼 정렬장치’ 국산화에 성공했다. 로봇앤드디자인은 2013년도 기술개발사업에 ‘투명 웨이퍼용 프리 얼라이너(Pre Aligner) 개발’ 과제로 참여, 기술개발 자금을 지원받아 투명한 웨이퍼를 정렬할 수 있는 장치를 개발한 것. 프리 얼라이너는 웨이퍼의 중심 위치와 Notch 또는 Flat Zone의 방향을 제어, 항상 일정한 방향성을 갖도록 배치시키는 기능을 수행하는 장치로, 반도체 제조 공정에 반드시 필요한 필수 장치인 것으로 알려졌다. 로봇앤드디자인 관계자는 “반도체 시장 불황에도 자사가 개발한 프리 얼라이너의 수요가 빠르게 증가하고 있다”며, “개발 필요 적기에 경기도로부터 자금 지원을 받게 돼 좋은 성과를 거둘 수 있었다”고 전했다.