어플라이드머티어리얼즈, 새로운 지평을 여는 첨단기술 발표
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어플라이드머티어리얼즈는 초고화질(UHD) TV와 고화소 모바일 기기 스크린 제조의 새로운 지평을 열 첨단 물리기상증착(PVD) 및 플라즈마화학증착(PECVD) 기술을 선보인다고 밝혔다. 어플라이드머티어리얼즈가 이번에 소개하는 기술의 핵심은 새로운 금속 산화막과 저온폴리실리콘(LTPS) 소재를 사용하여 보다 빠르고 작은 LCD·OLED 기술용 박막 트랜지스터(TFT)를 제조하는 것이다. 어플라이드 AKT-PiVot PVD와 어플라이드 AKT-PX PECVD의 필름 증착 시스템은 고성능과 비용 효율성을 통해 이러한 최첨단 소재의 대량 제조를 실현한다.
어플라이드 AKT-PiVot PVD 시스템은 금속 산화막 기반의 박막 트랜지스터 제조 시 전매 회전 음극 기술을 적용함으로써, 고 전자이동도 신소재인 산화물 반도체(IGZO)를 증착한 트랜지스터 채널을 구현한다. 저온폴리실리콘은 모바일 LCD·OLED 기기의 초고화질 디스플레이 제조를 위한 검증된 기술이지만 스케일링 문제 및 높은 면적당 비용을 해결해야하는 도전과제가 남아있었다. 새롭게 확장된 어플라이드 AKT-PX PECVD 시스템은 초박층 저온 폴리실리콘 필름을 1.6m2-5.7m2 면적의 유리기판에 증착한다.
