어플라이드 머티어리얼스, 반도체 장비 ‘센트리스’ 출시
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반도체 및 태양전지 장비 글로벌업체인 어플라이드 머티어리얼즈는 한 시간당 180개 이상의 웨이퍼를 처리하고, 30%의 생산비용을 절감할 수 있는 식각장비인 ‘어플라이드 센트리스 어드밴티지 메사 에치(이하 센트리스)’를 출시한다고 밝혔다.
어플라이드의 ‘센트리스’는 최대 4개의 챔버를 설치할 수 있었던 기존 플랫폼에 비해 2배가 많은 8개의 챔버로 장비를 설계할 수 있어 공정속도를 두 배 가까이 상승시켰으며, 보다 효과적인 공간의 활용과 에너지의 절감을 통해 운영비를 약 30%가량 절약할 수 있다.
또한 ‘센트리스’는 향상된 시스템의 정밀성과 생산성으로 22나노미터(nm) 이하로 공정되는 최상급의 로직 칩과 메모리 칩을 제조할 수 있으며, 각 웨이퍼 마다 옹스트롬(Angstrom: 1미터의 100억 분의 1) 수준의 높은 균일도로 칩을 생산할 수 있다. 이와 함께, 어플라이드는 관통전극(TSV) 공정방식의 최신 에칭기술이 탑재된 ‘어플라이드 센츄라 실비아 에치 시스템도 최초로 공개한다.
