고성능, 저가격 LCD 공정용 씰 개발 -그린트위드
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이번에 발표한 FPD 블루 707 제품은 기존 LCD용 씰 시장에서 95% 이상 사용되고 있는 FKM(Fluoroelastomer, 불소탄성체) 재질과 비교하여 화학물질에 의한 내마모율과 내부식성이 강해져서 씰의 수명 및 유지보수 주기를 크게 늘려주는 것이 특징이다. 또한 기존 제품에 비해 금속 이온 함량을 200배 이상 낮추어, LCD 제조 공정 상에서 발생할 수 있는 불순물 입자에 의한 오염을 최소화 할 수 있다.
LCD 제조 장비의 챔버, 슬릿 벨브 도어, 윈도우 등에 사용되는 이 제품은 소형에서부터 2m에 이르는 대형까지 다양한 규격이 제공되며, 특수 제작 금형을 통해 특수 형상과 단면을 가진 씰의 제작이 가능하다.
기존 LCD 제조 장비에서 사용되는 FKM 재질은 반도체 공정에서 사용되는 FFKM(Perfluoroelastomer, 과불소탄성체) 재질에 비해 내화학성과 내플라즈마성이 훨씬 떨어지지만 가격이 50배 이상 저렴한 것으로 알려져 있다.
그린트위드 코리아의 이형렬 지사장은 “LCD가 점차 대형화 되면서 제조 공정에 사용되는 씰도 함께 대형화되어야 하는데 FFKM 제품을 사용할 경우 비용 부담이 지나치게 커지기 때문에 FKM 제품이 주로 사용돼 왔다. 이에 저가의 고성능 제품 개발을 본사에 제안하여 성능은 FFKM 수준으로 높이고 가격은 FKM 수준으로 낮춘 FPD 블루 707이 개발되었다고” 개발 배경을 설명했다.
이 지사장은 “초기 반도체 시장에서는 FKM 재질의 씰이 주종을 이루었으나 현재는 성능이 강화된 FFKM 재질의 씰로 모두 교체되었다”고 설명하며 “LCD 장비 분야에도 이와 같은 변화가 예상된다. 향후 LCD 공정에서 사용될 고성능 씰 시장의 40% 이상을 가격대비 성능이 뛰어난 FPD 블루 707 제품으로 대체해 나갈 계획”이라고 밝혔다.
